[发明专利]复杂形状金刚石涂层刀具热丝化学气相沉积批量制备方法

权利要求书

1.一种复杂形状金刚石涂层刀具热丝化学气相沉积批量制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步、将预处理后的复杂形状硬质合金刀具的刀柄插入刀具冷却底座，将安装好刀具的三明治式底座放在热丝CVD设备水冷工作台上；

第二步、采用上下两行热丝且上行热丝高度与所述硬质合金刀具的刀尖相同，下行热丝的高度正对刀具的刀刃底部，通入氢气和丙酮并在复杂形状硬质合金刀具表面沉积金刚石涂层。

2.根据权利要求1所述的复杂形状金刚石涂层刀具热丝化学气相沉积批量制备方法，其特征是，所述的刀具冷却底座由矩形钼片、紫铜板和石墨板依次叠加构成三明治式结构，该刀具冷却底座上设有与刀柄直径和长度相匹配的钻孔。

3.根据权利要求2所述的复杂形状金刚石涂层刀具热丝化学气相沉积批量制备方法，其特征是，所述的矩形钼片厚度范围为：0.2-2mm。

4.根据权利要求2所述的复杂形状金刚石涂层刀具热丝化学气相沉积批量制备方法，其特征是，所述的紫铜板厚度范围为：20-60mm。

5.根据权利要求2所述的复杂形状金刚石涂层刀具热丝化学气相沉积批量制备方法，其特征是，所述的石墨板厚度范围为：30-80mm。

6.根据权利要求1所述的复杂形状金刚石涂层刀具热丝化学气相沉积批量制备方法，其特征是，所述的刀柄的直径φ1～16mm，所述的硬质合金刀具的整体长度50-180mm，刃长15-50mm。

7.根据权利要求1所述的复杂形状金刚石涂层刀具热丝化学气相沉积批量制备方法，其特征是，所述的沉积共分两次，其中：采用的钽丝直径φ0.3-1.2mm，热丝的列数为2-8列，沉积的成核气压为12Torr，生长气压为25Torr，丙酮浓度为1-3％，第一次沉积后将刀具旋转90度后进行第二次沉积，每次沉积时间分别为2-5小时，厚度控制在3μm-10μm。