[发明专利]恒定浓度蒸发的方法以及使用该方法的设备

权利要求书

1.一种设备，该设备包括

蒸发器；和

热交换器；所述热交换器和所述蒸发器流体连通；所述蒸发器包括：

外壳；和

设置在该外壳内的内缸；所述内缸与板接触；其中所述内缸围住：

第一导管，所述第一导管用于向蒸发器中引入载气流体；和

第二导管，所述第二导管用于除去带有前体的载气流体；其中所述外壳可分离地连接到所述板；所述板接触第一前体导管，所述第一前体导管用于将前体从热交换器引入到蒸发器中；其中所述热交换器设置为邻近蒸发器，热交换器与蒸发器的距离使得当热交换器和蒸发器周围的环境温度在最高达约±35℃波动时能有效将蒸发器中的前体保持在基本恒定的温度。

2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第一导管是倒转的U形导管，其具有与用于向蒸发器中引入载气流体的第一端口流体连通的一端和与喷头流体连通的相反端。

3.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第二导管是倒转的J形导管，其具有与用于从蒸发器中除去带有前体的载气流体的第二端口流体连通的一端和与防溅板流体连通的相反端。

4.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述热交换器与蒸发器的邻近程度使得当热交换器和蒸发器周围的环境温度在最高达约±35℃的量波动时能有效将载气流体和前体的比率维持在变化量不会大于或等于约0.5％。

5.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述热交换器与蒸发器的邻近程度使得从热交换器到蒸发器的流体路径中的前体的温度变化小于或等于约±0.1℃。

6.如权利要求2所述的设备，其特征在于，所述倒转的U形导管通过所述板的孔设置在蒸发器中。

7.如权利要求3所述的设备，其特征在于，所述倒转的J形导管通过所述板的孔设置在蒸发器中。

8.一种方法，所述方法包括：

在热交换器中加热或冷却前体；

将前体从热交换器中排出到蒸发器中；所述蒸发器包括：

外壳；和

设置在该外壳内的内缸；所述内缸接触板；其中所述内缸围住：

第一导管；和

第二导管；

通过第一导管向蒸发器中引入载气流体；

用载气流体喷射前体；

通过第二导管从蒸发器中除去带有前体的载气流体；其中所述热交换器和蒸发器的邻近程度使得当热交换器和蒸发器周围的环境温度在最高达约±35℃的量波动时能有效将蒸发器中的前体保持在基本恒定的温度。

9.如权利要求8所述的方法，还包括在所述外壳和内缸之间循环流体。

10.一种制造设备的方法，所述方法包括：

在板的第一孔中设置倒转的U形导管，在第二孔中设置倒转的J形导管，在第三孔中设置第一前体导管；所述板固定于热交换器；和

在与板接触热交换器的一侧相对的一侧上设置内缸和外壳；所述内缸被包含在外壳中；所述内缸围住所述倒转的U形导管，所述倒转的J形导管和第一前体导管。