[发明专利]TFT阵列检查的电子束扫描方法以及TFT阵列检查装置

权利要求书

1.一种TFT阵列检查的电子束扫描方法，所述TFT阵列检查是对TFT基板的面板施加规定电压的检查信号以驱动阵列，对所述面板上照射电子束来进行扫描，并基于在所述电子束扫描中检测到的检测信号来检查TFT基板的阵列，其特征在于，

针对TFT阵列的沿源极方向排列的像素列或沿栅极方向排列的像素列，沿着与所述像素列的排列方向相同的方向来使电子束进行扫描，并且

在进行扫描的像素列中的各像素中，将第1点的电子束的照射位置与第2点的电子束的照射位置设为在该像素内于对角线上夹着像素列的中心线而相向的位置，

在对像素列扫描一次的期间内，对该像素列进行二维扫描。

2.根据权利要求1所述的TFT阵列检查的电子束扫描方法，其特征在于，

在各像素的电子束的照射中，

在电子束的扫描方向上邻接的像素间，依据扫描顺序的前个像素中的第2点的照射位置与下个像素中的第1点的照射位置是相对于进行扫描的像素列的中心线而位于相反侧。

3.根据权利要求1所述的TFT阵列检查的电子束扫描方法，其特征在于，

在各像素的电子束的照射中，

在电子束的扫描方向上邻接的像素间，依据扫描顺序的前个像素中的第2点的照射位置与下个像素中的第1点的照射位置是相对于进行扫描的像素列的中心线而位于相同侧。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的TFT阵列检查的电子束扫描方法，其特征在于，

在各像素内进行照射的2点照射位置中，扫描方向的间隔为排列方向的像素间距的1/2，与扫描方向正交的方向的间隔为与排列方向正交的方向的像素间距的1/2。

5.一种TFT阵列检查装置，对TFT基板的面板施加规定电压的检查信号以驱动阵列，对所述面板上照射电子束来进行扫描，并基于在该电子束扫描中检测到的检测信号来检查TFT基板的阵列，其特征在于，包括：

扫描控制部，对所述电子束扫描进行控制，

所述扫描控制部针对TFT阵列的沿源极方向排列的像素列或沿栅极方向排列的像素列，沿着与所述像素列的排列方向相同的方向来使电子束进行扫描，并且

在进行扫描的像素列中的各像素中，将第1点的电子束的照射位置与第2点的电子束的照射位置设为在该像素内于对角线上夹着像素列的中心线而相向的位置，

在对像素列扫描一次的期间内，对该像素列进行二维扫描。

6.根据权利要求5所述的TFT阵列检查装置，其特征在于，

在各像素的电子束的照射中，

在电子束的扫描方向上邻接的像素间，依据扫描顺序的前个像素中的第2点的照射位置与下个像素中的第1点的照射位置是相对于进行扫描的像素列的中心线而位于相反侧。

7.根据权利要求5所述的TFT阵列检查装置，其特征在于，

在各像素的电子束的照射中，

在电子束的扫描方向上邻接的像素间，依据扫描顺序的前个像素中的第2点的照射位置与下个像素中的第1点的照射位置是相对于进行扫描的像素列的中心线而位于相同侧。

8.根据权利要求5至7中任一项所述的TFT阵列检查装置，其特征在于，

在各像素内进行照射的2点照射位置中，扫描方向的间隔为排列方向的像素间距的1/2，与扫描方向正交的方向的间隔为与排列方向正交的方向的像素间距的1/2。

9.根据权利要求5至8中任一项所述的TFT阵列检查装置，其特征在于，包括：

电子束源，照射所述电子束；以及平台，载置TFT基板，并且移动所载置的TFT基板，

所述扫描控制部控制所述电子束源所照射的电子束的照射方向以对所述像素列进行二维扫描，并控制所述平台的移动以切换所述电子束所照射的像素列。