[发明专利]臭氧气体供给系统

权利要求书

1.一种臭氧气体供给系统(10)，对气体流量、浓度进行控制，以将臭氧气体分别供给至多个臭氧处理装置，其特征在于，

包括多个臭氧发生单元(7-1～7-n)，

所述多个臭氧发生单元包括：

臭氧发生器(1)，该臭氧发生器(1)产生臭氧气体；

臭氧电源(2)，该臭氧电源(2)对供给至所述臭氧发生器的电力进行控制；

质量流量控制器(MFC)(3)，该质量流量控制器(3)对输入至所述臭氧发生器的原料气体流量(Q)进行控制；

自动压力控制器(APC)(4)，该自动压力控制器(4)对所述臭氧发生器内的压力即内部压力进行自动控制；

臭氧浓度计(5)，该臭氧浓度计(5)对所述臭氧发生器输出的臭氧气体的臭氧浓度值进行检测；以及

臭氧控制部(19)，该臭氧控制部(19)以规定的设定电力量(Ws)使所述臭氧电源驱动来作为初始动作，在经过规定时间之后，基于由所述臭氧浓度计检测出的臭氧浓度(C)与设定的臭氧浓度(Cs)的比较，对所述臭氧电源所供给的电力进行PID控制，

所述臭氧气体供给系统还包括：

臭氧气体输出流量管理单元(9)，该臭氧气体输出流量管理单元(9)接收来自所述多个臭氧发生单元内的多个所述臭氧发生器的多个臭氧气体输出，并通过设于内部的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，从而能执行将所述多个臭氧气体输出的一个或多个的组合选择地输出至所述多个臭氧处理装置中的任意的臭氧处理装置的臭氧气体输出流量控制；以及

臭氧气体输出流量管理单元控制部(8)，该臭氧气体输出流量管理单元控制部(8)基于来自所述多个臭氧处理装置的处理臭氧气体事件信号(16)，对所述多个臭氧发生单元各自的所述臭氧气体的输出情况进行控制，并对所述臭氧气体输出流量管理单元进行所述臭氧气体输出流量控制。

2.如权利要求1所述的臭氧气体供给系统，其特征在于，

还包括至少一个水分除去过滤器(59(59―1～59―n)，所述至少一个水分除去过滤器(59)除去从规定的原料气体供给口(14)供给来的所述原料气体中含有的水分，并将其供给至所述多个臭氧发生单元中的各臭氧发生单元。

3.如权利要求2所述的臭氧气体供给系统，其特征在于，

经过所述至少一个水分除去过滤器之前的所述原料气体包括具有1000PPB以上的水分的原料气体，

所述至少一个水分除去过滤器具有将所述原料气体内的水分降低至300PPB以下的水分除去能力。

4.如权利要求1所述的臭氧气体供给系统，其特征在于，

还包括至少一个原料气体用气体过滤器(52(52―1～52―n)，所述至少一个原料气体用气体过滤器(52)除去从规定的原料气体供给口(14)供给来的所述原料气体中含有的杂质气体，并将其供给至所述多个臭氧发生单元中的各臭氧发生单元。

5.如权利要求1所述的臭氧气体供给系统，其特征在于，

所述多个臭氧气体控制阀包括能通过电气或空气压力进行打开、关闭的电动阀或空压阀，

所述臭氧气体输出流量管理单元控制部输出所述控制信号，以使供给至所述多个臭氧处理装置中的各臭氧处理装置的臭氧流量、臭氧浓度达到所希望的值。

6.如权利要求1至5中任一项所述的臭氧气体供给系统，其特征在于，

所述多个臭氧发生单元分别具有将所述臭氧发生器、所述臭氧电源、所述MFC、所述APC、所述臭氧浓度计集成为一个，并封装成一个单位的结构。

7.如权利要求1至5中任一项所述的臭氧气体供给系统，其特征在于，

所述臭氧气体输出流量管理单元控制部具有安全停止功能(6、23、24、81、82、84)，

在所述多个臭氧发生单元中的任一个中检测出紧急停止、漏水的情况下，所述安全停止功能(6、23、24、81、82、84)使对应的所述臭氧发生单元停止，

在系统整体上检测出排气异常、臭氧泄露异常时，所述安全停止功能(6、23、24、81、82、84)使多个臭氧发生单元全部停止。

8.一种臭氧气体供给系统(10)，对气体流量、浓度进行控制，以将臭氧气体供给至多个臭氧处理装置中的各臭氧处理装置，其特征在于，

包括多个臭氧发生单元(7-1～7-n)，

所述多个臭氧发生单元包括：

臭氧发生器(1)，该臭氧发生器(1)产生臭氧气体；

臭氧电源(2)，该臭氧电源(2)对供给至所述臭氧发生器的电力进行控制；

质量流量控制器(MFC)(3)，该质量流量控制器(3)对从所述臭氧发生器输出的原料气体流量(Q)进行控制；

自动压力控制器(APC)(4)，该自动压力控制器(4)对所述臭氧发生器内的压力即内部压力进行自动控制；

臭氧浓度计(5)，该臭氧浓度计(5)对所述臭氧发生器输出的臭氧气体的臭氧浓度值进行检测；以及

臭氧控制部(19)，该臭氧控制部(19)以规定的设定电力量(Ws)使所述臭氧电源驱动来作为初始动作，在经过规定时间之后，基于由所述臭氧浓度计检测出的臭氧浓度(C)与设定的臭氧浓度(Cs)的比较，对所述臭氧电源所供给的电力进行PID控制，

所述臭氧气体供给系统还包括：

臭氧气体输出流量管理单元(9)，该臭氧气体输出流量管理单元(9)接收来自所述多个臭氧发生单元内的多个所述臭氧发生器的多个臭氧气体输出，并通过设于内部的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，从而能执行将所述多个臭氧气体输出的一个或多个的组合选择地输出至所述多个臭氧处理装置中的任意的臭氧处理装置的臭氧气体输出流量控制；以及

臭氧气体输出流量管理单元控制部(8)，该臭氧气体输出流量管理单元控制部(8)基于来自所述多个臭氧处理装置的处理臭氧气体事件信号(16)，对所述多个臭氧发生单元各自的所述臭氧气体的输出情况进行控制，并对所述臭氧气体输出流量管理单元进行所述臭氧气体输出流量控制。