[发明专利]具有抑制反射率的粘合剂保护涂层

权利要求书

1.一种成形光学元件，具有供激光进入和离开的表面和由所述表面限定的边缘，所述元件包括基底和沉积在所述边缘的至少一部分上的薄膜，所述薄膜包括至少一层沉积在所述基底顶上的至少一种折射率匹配材料和沉积在所述至少一个匹配层顶上的阻挡层材料。

2.如权利要求1所述的成形光学元件，其特征在于，所述薄膜包括1-7层至少一种折射率匹配层和阻挡层，所述折射率匹配层中的每个折射率匹配层具有5nm－50nm的厚度，所述阻挡层具有20nm－400nm的厚度。

3.如权利要求1所述的成形光学元件，其特征在于，所述薄膜包括1-4层至少一种折射率匹配材料和阻挡层，所述折射率匹配层中的每个折射率匹配层具有5nm－50nm的厚度，所述阻挡层具有20nm－400nm的厚度。

4.如权利要求2所述的成形光学元件，其特征在于，所述1-7层折射率匹配材料包括选自以下的交替的折射率匹配材料：Nb₂O₅、Al₂O₃、HfO₂、SiO₂、Y₂O₃、MgF₂、LaF₃、GdF₃、AlF₃、Ta₂O₅和TiO₂，以及它们的混合物。

5.如权利要求3所述的成形光学元件，其特征在于，所述1-4层折射率匹配材料包括选自以下的交替的折射率匹配材料：Nb₂O₅、Al₂O₃、HfO₂、SiO₂、Y₂O₃、MgF₂、LaF₃、GdF₃、AlF₃、Ta₂O₅和TiO₂，以及它们的混合物。

6.如权利要求2所述的成形光学元件，其特征在于，所述阻挡材料选自：NiCr，Nb₂O₅，TiO₂，TaO₂，选自Ni、Cr、Al和Ti的金属，以及它们的混合物。

7.如权利要求3所述的成形光学元件，其特征在于，所述阻挡材料选自：NiCr，Nb₂O₅，TiO₂，TaO₂，选自Ni、Cr、Al和Ti的金属，以及它们的混合物。

8.如权利要求1所述的成形光学元件，其特征在于，所述基底选自：石英、熔融石英、高纯度熔融石英、掺氟熔融石英、氟化钙和氟化镁。