[发明专利]气体温湿度调节方法及气体供给装置

权利要求书

1.一种气体温湿度调节方法气体温湿度调节方法，用于得到所希望的温度及相对湿度的气体，其特征在于，

在假设包含上述所希望的温度及相对湿度时所应该包含的水蒸气量的气体，且将该气体的相对湿度达到100％的温度作为中间目标温度时，根据上述所希望的温度及相对湿度计算该中间目标温度，

通过混合气体与水蒸气，使气体的相对湿度上升到100％的同时，使该气体的温度上升到上述中间目标温度，

保持被加热到上述中间目标温度的气体所含的水蒸气量的同时，将该气体加热到上述所希望的温度，从而将该气体的相对湿度调节为上述所希望的相对湿度。

2.根据权利要求1所述的气体温湿度调节方法气体温湿度调节方法，其特征在于，

在将用于使气体的相对湿度在上述混合气体与水蒸气的工序中容易上升到100％的气体的温度作为当初目标温度时，根据上述中间目标温度计算该当初目标温度，

在上述混合气体与水蒸气的工序之前对气体进行加热或冷却，由此使该气体的温度接近于上述当初目标温度。

3.一种气体供给装置，供给所希望的温度及相对湿度的气体，其特征在于，具备：

气体供给机构，该气体供给机构向上述气体供给装置内供给气体；

混合机构，该混合机构将水蒸气混合到来自上述气体供给机构的气体中，使该气体的相对湿度上升到100％的同时对该气体进行加热；

蒸气产生机构，该蒸气产生机构在假设包含上述所希望的温度及相对湿度时所应该包含的水蒸气量的气体，且将该气体的相对湿度达到100％的温度作为中间目标温度时，产生为了在上述混合机构中将气体加热到上述中间目标温度所必要的量的水蒸气；以及，

加热机构，该加热机构将从上述混合机构排出的气体在保持该气体所含的水蒸气量的同时对其进行加热直到达到上述所希望的温度。

4.根据权利要求3所述的气体供给装置，其特征在于，还具备：

检测上述混合机构的出口中的气体的温度的第一温度检测机构；以及

控制机构，该控制机构根据上述所希望的温度及相对湿度计算上述中间目标温度，调节由上述蒸气产生机构产生的水蒸气量，以使由上述第一温度检测机构检测的温度接近于该中间目标温度。

5.根据权利要求3所述的气体供给装置，其特征在于，

还具备加热冷却机构，该加热冷却机构在将用于通过上述混合机构使气体的相对湿度容易上升到100％的气体的温度作为当初目标温度时，将导入上述混合机构的气体加热或冷却到上述当初目标温度。

6.根据权利要求5所述的气体供给装置，其特征在于，

还具备检测上述混合机构的入口中的气体的温度的第二温度检测机构，

上述控制机构根据上述中间目标温度计算上述当初目标温度，并控制上述加热冷却机构，以使由上述第二温度检测机构检测的温度接近于上述当初目标温度。

7.根据权利要求3所述的气体供给装置，其特征在于，

上述气体供给机构根据所希望的气体量调节向上述气体供给装置内供给的气体量。

8.根据权利要求3所述的气体供给装置，其特征在于，

上述气体供给机构为涡轮风扇。

9.根据权利要求3所述的气体供给装置，其特征在于，

上述气体供给机构以与来自上述蒸气产生机构的水蒸气交叉的方式向上述混合机构内供给气体。

10.根据权利要求3所述的气体供给装置，其特征在于，

上述混合机构具备水分除去机构，该水分除去机构从与水蒸气混合后的气体除去过剩的水分。

11.根据权利要求3所述的气体供给装置，其特征在于，

还具备保温机构，该保温机构将由上述加热机构加热的气体的温度保持为上述所希望的温度。

12.根据权利要求3所述的气体供给装置，其特征在于，还具备：

排出积存在上述蒸气产生机构的水的排水机构；以及

向上述蒸气产生机构供给空气，使上述蒸气产生机构内干燥的干燥机构。

13.根据权利要求3所述的气体供给装置，其特征在于，

还具备减小上述蒸气产生机构内的压力的减压机构。