[发明专利]二乙基锌组合物、热稳定化方法和热稳定化用化合物

说明书

技术领域

本发明涉及热稳定性优异的二乙基锌组合物、二乙基锌组合物的热稳定化方法和热稳定化用化合物。

背景技术

以往，二乙基锌在聚环氧乙烷、聚环氧丙烷等的聚合催化剂用途，在医药、功能性材料等的中间体等的制造中用作有机合成的反应试剂，作为非常有用的工业材料而被知悉。

另外，近年来，对使用二乙基锌为原料和使用水蒸气为氧化剂并利用被称为MOCVD（有机金属化学气相沉积，Metal Organic Chemical Vapor Deposition）法的方法等形成氧化锌薄膜的方法进行了研究。利用该MOCVD法而得的氧化锌薄膜在CIGS太阳能电池的缓冲层、透明导电膜、色素增感太阳能电池的电极膜、薄膜Si太阳能电池的中间层、透明导电膜等的太阳能电池中的各种功能膜，光催化膜、防紫外线膜、红外线反射膜、抗静电膜等各种功能膜，化合物半导体发光元件、薄膜晶体管等电子器件等中使用，具有广泛的用途。

已知若加热，则二乙基锌会缓慢地分解而析出金属锌粒子（例如参照非专利文献1）。因此，在二乙基锌的操作等中，存在由于因热分解而生成的金属锌粒子的析出而导致的产品纯度的下降、贮藏容器的污染、制造设备配管的堵塞等问题。

作为解决与上述因热分解而生成的金属锌粒子的析出相关的问题的方法，例如，已知添加蒽、苊、苊烯等化合物而形成使二乙基锌稳定的组合物这种方法（例如参照专利文献1～3）。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利第4385003号说明书

专利文献2：美国专利第4402880号说明书

专利文献3：美国专利第4407758号说明书

非专利文献

非专利文献1：Yasuo Kuniya et Al.，Applied Organometallic Chemistry，5卷，337～347页，1991年发行

发明内容

如专利文献1～3所公开，即使添加蒽、苊、苊烯，也无法使二乙基锌充分地稳定化，因此，需要热稳定性更优异的二乙基锌。

另外，蒽、苊、苊烯是在室温下为固体的化合物，因此，在二乙基锌组合物的制备中还存在需要粉体投入等操作这样的课题。

另外，蒽、苊、苊烯是在通常的操作温度即25℃前后的室温下为固体的化合物，因此，在二乙基锌组合物的制备中还存在需要粉体投入等操作这样的课题。另外，一般而言，熔点高的物质的蒸汽压低，因而，在CVD成膜等中使用二乙基锌时，利用载气产生的鼓泡将二乙基锌作为载气中的饱和气体进行供给时，有可能未气化而残存。

进而，在使用这些固体的化合物作为添加物来制备二乙基锌组合物时，使用固体投入机等进行添加物的输送，但是输送时发生添加物堵塞等故障时，需要使杂质不污染二乙基锌的对策。

在除去在该输送中造成故障的添加物时，作为使杂质不污染二乙基锌的对策，采用加热添加物本身而使其熔解等对策时，添加物优选为熔点更低的化合物。

从这点看，二乙基锌的添加物优选为熔点更低的化合物。

即，第1发明的目的是提供一种提高在聚合催化剂、有机合成试剂和利用MOCVD法等的氧化锌薄膜制造原料等中使用的二乙基锌的热稳定性且即使长时间操作金属锌粒子也不析出的热稳定性优异的二乙基锌组合物，其使用侧链具有异丙烯基的芳香族化合物作为添加物。

第2发明的目的是提供一种提高在聚合催化剂、有机合成试剂和利用MOCVD法等的氧化锌薄膜制造原料等中使用的二乙基锌的热稳定性且即使长时间操作金属锌粒子也不析出的热稳定性优异的二乙基锌组合物及其稳定化方法，其中，使用操作容易且在25℃的温度下为液状的化合物、即添加物的熔点或者凝固点为25℃以下的化合物作为添加物。

第3发明的目的是提供一种提高在聚合催化剂、有机合成试剂和利用MOCVD法等的氧化锌薄膜制造原料等中使用的二乙基锌的热稳定性且即使长时间操作金属锌粒子也不析出的热稳定性优异、还能够减轻二乙基锌使用时残存的问题的二乙基锌组合物和二乙基锌的热稳定化方法，其中，使用其熔点低于前述公知添加物的化合物、即添加物的熔点或者凝固点为85℃以下的化合物作为添加物。

第4发明的目的是提供一种提高在聚合催化剂、有机合成试剂和利用MOCVD法等的氧化锌薄膜制造原料等中使用的二乙基锌的热稳定性且即使长时间操作金属锌粒子也不析出的热稳定性优异的二乙基锌组合物，其中，使用具有薁结构的化合物作为添加物。