[发明专利]高速、高解析度、三维太阳能电池检查系统

权利要求书

1.一种光学检查系统，包括：

工件运输器，构建成以连续不停的方式运输工件；及

照明器，构建成提供第一频闪照明场型式和第二频闪照明场型式，所述照明器包括光管，所述光管具有靠近工件的第一端和与所述第一端相对并且从所述第一端隔开的第二端，所述光管还具有至少一个反射侧壁，其中第一端具有出射开口而第二端具有至少一个第二端开口以提供穿过其中对工件的观察；

第一相机阵列，构建成对工件进行数字成像，其中第一相机阵列构建成以第一照明场产生工件的多个第一图像以及以第二照明场产生工件的多个第二图像；

第二相机阵列，构建成对工件进行数字成像，其中第二相机阵列构建成以第一照明场产生工件的多个第三图像以及以第二照明场产生工件的多个第四图像；

其中第一和第二相机阵列构建成提供对工件的立体成像；及

操作地连接到照明器和第一及第二相机阵列的处理装置，所述处理装置构建成提供所述多个第一、第二、第三和第四图像中的至少一些到另一装置。

2.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中第一相机阵列包括非远心光学器件，其中第一相机阵列的相机沿垂直于工件运动方向的轴线彼此对准，其中第一相机阵列的相机具有彼此交迭的视场。

3.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中第一相机阵列包括非远心光学器件，其中第二相机阵列的相机沿垂直于工件运动方向的轴线彼此对准，但在工件运动方向上与多个第一相机隔开。

4.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中：

第一相机阵列具有远心光学器件，其中第一相机阵列的相机沿垂直于工件运动方向的轴线彼此对准，并具有彼此不交迭的视场；及

还包括具有远心光学器件的第三相机阵列，其中第三相机阵列的相机沿垂直于工件运动方向的轴线彼此对准，并具有彼此不交迭的视场，其中第一和第三相机阵列具有交错的视场；

其中第二相机阵列具有远心光学器件，其中第二相机阵列的相机沿垂直于工件运动方向的轴线彼此对准，并具有彼此不交迭的视场；

还包括具有远心光学器件的第四相机阵列，其中第四相机阵列的相机沿垂直于工件运动方向的轴线彼此对准，并具有彼此不交迭的视场，其中第二和第四相机阵列具有交错的视场。

5.根据权利要求1所述的光学检查系统，还包括编码器，所述编码器操作地连接到工件运输器以提供工件运动的指示到处理装置。

6.根据权利要求5所述的光学检查系统，其中所述指示具有大约100微米的解析度。

7.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中照明器包括至少一个弧光灯。

8.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中照明器包括至少一个发光二极管。

9.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中光管包括多个反射侧壁。

10.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中至少一个反射侧壁包括弯曲的反射面，所述弯曲反射面保留照明仰角同时混合照明方位角。

11.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中照明器包括至少一个镜，所述镜设置成反射照明光的至少一部分至期望的源仰角。

12.根据权利要求11所述的光学检查系统，其中所述至少一个镜的角度被设置成在所述期望仰角下将照明光的所述部分反射向所述至少一个反射侧壁。

13.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中照明器包括设置在第二端附近的照明混合室，其中所述混合室和光管被半透明散射板分开，所述散射板具有与至少一个第二端开口的各个对准的至少一个散射器开口。

14.根据权利要求13所述的光学检查系统，其中第一光源构建成将频闪照明引入到混合室。

15.根据权利要求14所述的光学检查系统，其中第二光源构建成将频闪照明引入到散射器和所述第一端之间的光管中。

16.根据权利要求15所述的光学检查系统，还包括第三光源，其构建成将额外照明引入到散射器和所述第一端之间的光管中。

17.根据权利要求1所述的光学检查系统，其中处理装置包括高速数据传递总线以提供多个第一、第二、第三和第四图像到所述另一装置。