[发明专利]功能性纳米微粒

说明书

关联申请的交叉引用

本申请依照35U.S.C§119(e)(1)要求2009年8月26日提交的美国临时申请No.61/236,957以及2010年8月11日提交的美国申请No.12/854,359的权益，这两篇文献均全篇的援引包含于此。

背景技术

纳米制造包括制造具有100纳米或更小数量级特征的非常小的结构。尽管在集成电路产业中的应用是公知的，然而纳米制造技术可应用于生物领域、太阳能电池产业、电池产业、和/或类似产业。参见例如美国专利公告No.2007/0031505、美国专利No.6,918,946、美国专利公告No.2008/0121279、Kelly，J.和DeSimone，J.所著的“蛋白质微粒的形状特定的单分散纳米模制”(J.Am.化学协会2008，卷130，5437页-5439页)以及Canelas，D.、Herlihy，K.和DeSimone，J.所著的“自顶向下微粒制造：用于诊断成像和给药的尺寸和形状控制”(WIREs纳米医药和纳米生物技术，2009，卷1，391-404页)。

压印平版印刷技术包括在位于衬底上的可成形层内形成一凸纹图案。衬底可被耦合于移动台以获得所期望的定位从而有利于布图制程。布图制程可使用与衬底隔开的模板以及施加在模板和衬底之间的可成形液体。可成形液体凝固以在衬底上形成特征，该特征顺应于接触可成形液体的模板的形状。在凝固后，模板与特征分离，并且衬底经受进一步的处理以形成功能性纳米微粒(例如，给药装置、电池，等等)。

附图说明

为了更详细地理解本发明，参照附图中所示的实施例提供了对本发明实施例的描述。然而要注意，附图仅示出本发明的典型实施例，并因此不认为是范围限定。

图1示出根据本发明实施例的平版印刷系统的简化侧视图；

图2示出图1所示衬底的简化侧视图，该衬底具有位于其上的布图层。

图3示出图2所示衬底的简化侧视图，该衬底具有形成于其上的多个凸起。

图4示出通过脱去图3的凸起而形成的柱的简化侧视图。

图5A-5F示出根据本发明的实施例的柱形成的简化侧视图。

图6A-6C示出示例性柱的立体图。

图7示出使用压印平版印刷法来形成柱52a的示例性方法100的流程图。

图8A-8E示出根据本发明的实施例的形柱成的简化侧视图。

具体实施方式

参见附图，尤其是图1和图2，这里描述了一种用来在衬底12上形成功能性纳米和/或微米微粒的平版印刷系统10。衬底12可耦合于衬底卡盘14。如图所示，衬底卡盘14是真空卡盘。然而，衬底卡盘14可以是任何卡盘，包括但不局限于，真空卡盘、销式卡盘、沟槽式卡盘、静电卡盘、电磁卡盘、和/或类似卡盘。示例性卡盘被记载在美国专利No.6,873,087、美国申请S/N 11/108,208、美国申请S/N 11/047,428、美国申请No.11/047,499以及美国申请No.11/690,480中，所有文献均援引包含于此。

衬底12和衬底卡盘14可进一步由台16所支承。台16可提供关于x、y和z轴的旋转和/或平移运动。台16、衬底12和衬底卡盘14也可被定位在基座(未示出)上。

模板18与衬底12隔开。模板18可包括从其向衬底12伸出的台地20，台地20上面具有布图表面22。此外，台地20可称为模子20。或者，模板18可被形成为不具有台地20。

模板18和/或模子20可由下列这些材料形成，包括但不局限于，熔凝硅石、石英、硅、有机聚合物、硅氧烷聚合物、硼硅玻璃、碳氟聚合物、金属、硬化蓝宝石、和/或类似物。如图所示，布图表面22包括由多个间隔开的凹槽24和/或凸起26所界定的特征，尽管本发明的实施例不仅限于这种结构。例如，布图表面22可以基本上平坦的。一般来说，布图表面22可被定义为任何初始图案，该初始图案构成在衬底12上拟形成的图案的基础。另外，可用抗粘附制剂(例如Relmat，FTOS)对模板18进行处理。示例性抗粘附制剂可包括，但不局限于，美国申请S/N 09/976,681中描述的那些，该文献全篇地援引包含于此。