[发明专利]带电粒子能量分析器

权利要求书

1.一种带电粒子能量分析器，包括：

具有用于传递带电粒子的开口的第一导电网，所述第一网被安排成接收第一侧上的带电粒子并将所述带电粒子传递到第二侧；

第一电极，被安排成在所述第一网的第二侧和所述第一电极之间形成第一腔；

具有用于传递所述带电粒子的开口的第二导电网，所述第二网被安排成接收第二侧上的带电粒子并将所述带电粒子传递到第一侧；

第二电极，被安排成在所述第二网的第一侧和所述第二电极之间形成第二腔；

具有用于传递所述带电粒子的开口的第三导电网，所述第三网被安排成接收第一侧上的带电粒子并将所述带电粒子传递到第二侧；以及

被安排成在所述带电粒子穿过所述第三网之后接收所述带电粒子的位置敏感带电粒子检测器。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一、第二和第三网是单个网结构的部分。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一电极包括第一导电板，并且所述第二电极包括第二导电板。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一、第二和第三网电接地，并且其中负电压被施加到所述第一和第二电极。

5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

将所述网电耦合到所述电极的电阻器式侧壁。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述电阻器式侧壁包括降压阵列。

7.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述电阻器式侧壁包括具有电阻涂层的侧壁。

8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述带电粒子的轨迹通过所述第一网进入所述第一腔，从所述第一电极偏离，通过所述第二网进入所述第二腔，从所述第二电极偏离，并且通过所述第三网退出所述第二腔。

9.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

被安排成屏蔽所述第一腔中的静电场的第一导电罩；以及被安排成屏蔽所述第二腔中的静电场的第二导电罩。

10.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

被安排在所述位置敏感带电粒子检测器前面的金属网，以及

所述金属网和表面之间的电压差所创建的静电场。

11.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

所述位置敏感带电粒子检测器的检测器分段。

12.如权利要求11所述的装置，其特征在于，所述检测器分段包括梯形检测器表面。

13.如权利要求11所述的装置，其特征在于，所述检测器分段在极方向上是可旋转的。

14.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述带电粒子包括电子，所述装置还包括：

被配置成生成初级电子束的电子源；

被配置成将所述初级电子束聚焦到目标基板的表面的一点的物镜；以及

被配置成在所述目标基板的表面上可控地偏转所述初级电子束的偏转器，

其中所述初级电子束导致二次电子从所述目标基板的表面发射；并且

其中所述二次电子的轨迹穿过所述第一和第二腔，并且由所述位置敏感带电粒子检测器检测。

15.一种分析带电粒子的能量的方法，所述方法包括：

使所述带电粒子穿过第一导电网以进入第一腔；

使所述带电粒子偏离第一导电板；

使所述带电粒子穿过第二导电网以退出所述第一腔并进入第二腔；

使所述带电粒子偏离第二导电板；

使所述带电粒子穿过第三导电网以退出所述第二腔；以及

用位置敏感检测器检测所述带电粒子。

16.如权利要求15所述的方法，其特征在于，所述第一、第二和第三导电网是单个网结构的部分。

17.如权利要求15所述的方法，其特征在于，所述导电网电接地，并且其中将负电压施加到所述第一和第二导电板。