[发明专利]致动器及使用致动器的光扫描装置

权利要求书

1.一种驱动驱动对象物使其围绕转动轴倾斜运动的致动器，其特征在于，包括：

一对支撑梁，沿所述转动轴从两侧支撑所述驱动对象物；

一对可动框，以从与所述转动轴正交的方向的两侧夹住所述驱动对象物及所述一对支撑梁的方式配置；

驱动源，对所述可动框付与弯曲振动；以及

一对连接部，用包括多个梁的梁结构将所述一对可动框与所述支撑梁的尖端部连接，并将所述弯曲振动转换为扭曲振动向所述支撑梁传递。

2.根据权利要求1所述的致动器，其特征在于，

所述支撑梁的所述尖端部比所述可动框的所述转动轴方向的宽度还延伸到外侧，

所述连接部具有从所述尖端部在与所述转动轴正交的方向上向两侧延长的梁、以及将所述梁的尖端与所述可动框沿所述转动轴方向延伸连接的锚形的所述梁结构。

3.根据权利要求1所述的致动器，其特征在于，

具有一对驱动梁，以从与所述转动轴正交的方向的两侧夹住所述可动框的方式连接在所述可动框上，

所述一对驱动梁具有所述驱动源。

4.根据权利要求3所述的致动器，其特征在于，

所述驱动源是通过施加电压而伸缩的压电元件，

在所述一对驱动梁的所述压电元件上，施加在互相不同的方向位移的电压。

5.根据权利要求4所述的致动器，其特征在于，

所述一对可动框还具有所述压电元件，

在被连接的同侧的所述驱动梁与所述可动框的所述压电元件上，施加在互相为反方向上位移的电压。

6.根据权利要求3所述的致动器，其特征在于，

所述一对支撑梁的两条支撑梁沿所述转动轴平行延伸而构成一侧的所述支撑梁，

所述连接部将所述两条支撑梁各自连接到所述一对可动框的近的一个上。

7.根据权利要求6所述的致动器，其特征在于，

所述一对可动框还具有所述压电元件，

在被连接的同侧的所述驱动梁与所述可动框的所述压电元件上，施加在同方向上位移的电压。

8.根据权利要求3所述的致动器，其特征在于，

将在所述驱动对象物与所述支撑梁的连接部位产生的角、在所述支撑梁与所述连接部的连接部位产生的角、及在所述连接部与所述可动框的连接部位产生的角圆角化。

9.根据权利要求3所述的致动器，其特征在于，将在所述可动框与所述驱动梁的连接部位产生的角圆角化。

10.根据权利要求3所述的致动器，其特征在于，所述压电元件通过共振驱动产生振动。

11.根据权利要求10所述的致动器，其特征在于，所述驱动对象物与所述可动框在向相同方向倾斜的共振模式下进行所述共振驱动。

12.一种驱动驱动对象物使其围绕转动轴倾斜运动的致动器，其特征在于，包括：

一对支撑梁，沿所述转动轴从两侧支撑所述驱动对象物；

连接部，包括与所述支撑梁连接并沿与所述转动轴垂直的方向延伸的支撑梁侧连接部、及与所述支撑梁侧连接部连接并沿与所述转动轴平行向所述驱动对象物侧延长的驱动梁侧连接部；以及

驱动梁，与所述驱动梁侧连接部连接，以从与所述转动轴垂直的方向的两侧夹住所述驱动对象物的方式配置，通过在所述转动轴的两侧在上下反方向翘曲变形从而对所述驱动梁侧连接部付与倾斜运动力。

13.根据权利要求12所述的致动器，其特征在于，

所述支撑梁具有沿所述转动轴分开成两个的结构，

所述支撑梁侧连接部沿远离所述转动轴的方向延长。

14.根据权利要求12所述的致动器，其特征在于，

所述支撑梁侧连接部与所述驱动梁侧连接部连接的位置，在与所述转动轴垂直的方向上，在与所述驱动对象物的端部相同或比所述端部还外侧。

15.根据权利要求1所述的致动器，其特征在于，所述驱动对象物是反射镜。