[发明专利]振动型微机械角速度传感器有效
| 申请号： | 201080015565.7 | 申请日： | 2010-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN102369414A | 公开（公告）日： | 2012-03-07 |
| 发明（设计）人： | 安斯·布卢姆奎斯特;亚科·罗希奥 | 申请（专利权）人： | VTI技术有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 褚海英;武玉琴 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 芬兰;FI |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 振动 微机 角速度 传感器 | ||
1.一种包括至少两个振动质量块结构(1)、(2)的振动型微机械角速度传感器，其特征在于，所述角速度传感器还包括激励结构(3)、(4)和耦合跷跷板式弹簧(6)、(7)，使得所述至少两个振动质量块结构(1)、(2)分开设置并通过弹簧(27～30)支撑于所述激励结构(3)、(4)处，从而所述激励结构(3)、(4)在其至少一端通过所述耦合跷跷板式弹簧(6)、(7)而支撑于锚点(8～11)处。
2.如权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述跷跷板式弹簧(6)、(7)布置为允许弹簧的刚性支撑结构在表平面内关于固定轴转动。
3.如权利要求1或2所述的角速度传感器，其特征在于，所述跷跷板式弹簧(6)、(7)布置为所述弹簧使包括所述至少两个振动质量块结构(1)、(2)的所述激励结构(3)、(4)在表平面内反相振动。
4.如权利要求1～3之任一项所述的角速度传感器，其特征在于，所述激励结构(3)、(4)的所述反相振动的运动路径以相反的方向形成两条平行弧线。
5.如权利要求1～4之任一项所述的角速度传感器，其特征在于，所述角速度传感器还包括：激励梳状结构(12)、(13)，它们设置于包括所述至少两个振动质量块结构(1)、(2)的所述激励结构(3)、(4)之间。
6.如权利要求1～5之任一项所述的角速度传感器，其特征在于，所述激励梳状结构(12)、(13)支撑在位于中央的锚定结构(14)处。
7.如权利要求1～6之任一项所述的角速度传感器，其特征在于，所述角速度传感器还包括：正交运动补偿梳状结构(31)、(32)，它们设置于包括所述至少两个振动质量块结构(1)、(2)的所述激励结构(3)、(4)之间。
8.如权利要求1～7之任一项所述的角速度传感器，其特征在于，所述角速度传感器还包括检测梳状结构(23～26)，所述检测梳状结构(23～26)布置用于由角速度引起的科里奥利力的双差分检测。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于VTI技术有限公司，未经VTI技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201080015565.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
