[发明专利]微机械角速度传感器

权利要求书

1.一种微机械谐振器，其包括：两个质量块(M1，M2)，所述两 个质量块沿它们的运动的共同运动轴的方向通过弹性结构(401、402、 403、404a、404b、404c)而耦合，所述弹性结构包括用于至少将连接至 所述质量块的特定第一杆与沿所述运动轴方向延伸的特定第二杆耦合的 弹簧(404a、404b、404c)，所述弹簧布置成沿垂直于所述运动轴的运 动方向的方向弯曲。

2.如权利要求1所述的微机械谐振器，其特征在于，其弹性结构布 置成通过所述质量块在相同方向的位移而弯曲成S形。

3.如权利要求1或2所述的微机械谐振器，其特征在于，其弹性结 构布置成其对于所述质量块在同相的位移比其对于在反相的位移更为刚 性。

4.如上述任一权利要求所述的微机械谐振器，其中，所述两个质量 块(M1，M2)的至少一个具有梳状结构。

5.如上述任一权利要求所述的微机械谐振器，其中，所述梳状结构 设置用于达到特定的表面积。

6.如上述任一权利要求所述的微机械谐振器，其中，所述梳状结构 设置用于在所述谐振器的特定部分和所述梳状结构之外的某个部分之间 达到特定的电容量。

7.一种微机械谐振器阵列，其包括至少一个如上述权利要求之一所 述的微机械谐振器。

8.一种传感器，其包括至少一个如上述权利要求之一所述的微机械 谐振器。

9.一种交通工具，其包括如权利要求8所述的传感器，所述交通工 具为下述的至少一个：玩具、一只鞋、自行车、机动脚踏两用车、摩托 车、汽车、火车、轮船和飞机。

10.一种导航设备，其包括如权利要求8所述的传感器。

11.一种微机械谐振器的系统，其包括至少一个含有两个质量块 (M1，M2)的微机械谐振器，所述两个质量块沿它们共同的运动轴的方 向通过弹性结构(401、402、403、404a、404b、404c)而耦合，所述弹 性结构包括连接至所述质量块的至少两个梁(402)以及平行于运动轴、 用于耦合所述梁、且垂直于运动而弯曲的弹性悬架(404a、404b、404c)。