[发明专利]模具和模具的制造方法、以及使用模具的防反射膜的制造方法

权利要求书

1.一种模具，具有：

基材；

导电层，其形成于上述基材上；以及

阳极氧化膜，其形成于上述导电层上，表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向看时的二维大小大于等于10nm小于500nm的多个凹部；

上述基材、上述导电层以及上述阳极氧化膜能透射紫外线。

2.根据权利要求1所述的模具，上述导电层由厚度小于等于100nm的钛膜形成。

3.根据权利要求1或2所述的模具，进一步具有形成于上述阳极氧化膜上的脱模层。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的模具，上述阳极氧化膜在上述多个凹部的上述导电层侧具有比上述多个凹部小的微细孔。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的模具，上述阳极氧化膜具有：多孔氧化铝层，其表面具有上述反转的蛾眼结构；以及不具有微细孔的氧化铝层，其形成于上述多孔氧化铝层的上述导电层侧。

6.根据权利要求5所述的模具，上述不具有微细孔的氧化铝层的厚度大于等于100nm。

7.一种模具的制造方法，上述模具在表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向看时的二维大小大于等于10nm小于500nm的多个凹部，上述模具的制造方法包含：

工序(a)，准备能透射紫外线的基材；

工序(b)，在上述基材上形成能透射紫外线的导电层；

工序(c)，在上述导电层上沉积铝膜；以及

工序(d)，对上述铝膜的整体进行阳极氧化，上述工序(d)包含：

工序(d1)，对上述铝膜进行阳极氧化，由此形成具有多个微细的凹部的多孔氧化铝层；

工序(d2)，在上述工序(d1)之后，使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触，由此使上述多孔氧化铝层的上述多个微细的凹部扩大；以及

工序(d3)，在上述工序(d2)之后，进一步进行阳极氧化，由此使上述多个微细的凹部生长。

8.根据权利要求7所述的模具的制造方法，在上述工序(d)中，在上述工序(d3)之后，进一步进行上述工序(d2)和上述工序(d3)。

9.根据权利要求7或8所述的模具的制造方法，上述工序(d)进一步包含：

工序(da)，利用上述工序(d1)～(d3)，在上述多孔氧化铝层的表面形成上述反转的蛾眼结构；以及

工序(db1)，在上述工序(da)之后，进一步进行阳极氧化，由此在上述多孔氧化铝层的上述导电层侧形成比上述多个凹部小的微细孔。

10.根据权利要求9所述的模具的制造方法，进一步包含工序(db2)：在上述工序(db1)之后，进行阳极氧化，由此在上述多孔氧化铝层的上述导电层侧形成不具有上述微细孔的氧化铝层。

11.根据权利要求10所述的模具的制造方法，上述工序(db2)在pH大于4.0小于等于7.0的电解液中进行。

12.根据权利要求11所述的模具的制造方法，在上述工序(db2)中所使用的上述电解液是包含选自如下组的酸或者盐中的至少一种的水溶液：该组包括酒石酸、酒石酸铵、酒石酸钠钾、硼酸、硼酸铵、草酸铵、柠檬酸铵、马来酸、丙二酸、邻苯二甲酸以及柠檬酸。

13.根据权利要求10所述的模具的制造方法，上述工序(db2)在浓度小于等于0.1mol/L的酸性水溶液中进行。

14.一种防反射膜的制造方法，包含：

准备权利要求1～6中的任一项所述的模具和被加工物的工序；以及

在上述模具与上述被加工物的表面之间赋予紫外线固化树脂的状态下，隔着上述模具对上述紫外线固化树脂照射紫外线，由此使上述紫外线固化树脂固化的工序。