[实用新型]LED晶圆皮秒激光划片装置有效
| 申请号： | 201020554084.0 | 申请日： | 2010-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN201841362U | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 赵裕兴;郭良 | 申请（专利权）人： | 苏州德龙激光有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/02 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 王玉国;陈忠辉 |
| 地址： | 215021 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | led 晶圆皮秒 激光 划片 装置 | ||
1.LED晶圆皮秒激光划片装置，包括紫外激光器(1)、光学系统、影像系统及控制系统，其特征在于：所述紫外激光器(1)的输出端设置有光闸(2)，光闸(2)的输出端连接有扩束镜(3)，扩束镜(3)的输出端布置有波片(4)，波片(4)衔接激光反射镜(5)，激光反射镜(5)的输出端连接聚焦镜(6)，聚焦镜(6)正对于加工平台(14)；
所述影像系统包括照明光反射镜(7)、准直器(8)、CCD镜头(9)、CCD(10)和照明光源(11)，照明光源(11)的输出端布置准直器(8)，准直器(8)衔接照明光反射镜(7)，照明光反射镜(7)的输出端与聚焦镜(6)相衔接；所述照明光源(11)发出的光经准直镜(8)后呈平行光出射，照明光反射镜(7)反射进入聚焦镜(6)，照射在加工平台上工件的上表面，经加工平台上工件上表面反射的光线反射回聚焦镜(6)，并透过照明光反射镜(7)进入CCD镜头(9)，由CCD镜头(9)将其聚焦于CCD(10)的成像面上；所述CCD(10)与控制系统电连接。
2.根据权利要求1所述的LED晶圆皮秒激光划片装置，其特征在于：所述紫外激光器(1)输出激光的脉冲宽度为皮秒级。
3.根据权利要求1所述的LED晶圆皮秒激光划片装置，其特征在于：所述紫外激光器(1)的波长为紫外激光或绿色激光或近红外激光，紫外激光的波长为355nm或343nm或266nm，绿色激光的波长为532nm或515nm，近红外激光的波长为1030nm或1064nm。
4.根据权利要求1所述的LED晶圆皮秒激光划片装置，其特征在于：所述激光反射镜(5)安装在可二维角度调节和一维平移调节的调整架上。
5.根据权利要求1所述的LED晶圆皮秒激光划片装置，其特征在于：所述聚焦镜(6)安装在可垂直升降的一维直线电机上。
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