[实用新型]一种低浓度气体的快速动态配制装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种低浓度气体的快速动态配制装置。

背景技术

目前，常用的配气方法包括静态配气法和动态配气法两种方法。静态配气法不能连续供气，每次配制气体量有限，一般用于间歇反应实验研究。动态配气法主要有渗透式动态配气、扩散法动态配气、定体积法动态配气。自动配气装置(CN2702918Y)提供了一种采用质量控制原理和可编程控制器原理的配气装置，该系统能精密快速的调节各个混合气体的比例，可智能操作，稳定性强，但该系统原料气要求是低浓度的气体，而且系统复杂，成本高。一种低浓度气体的配制装置及配制方法(CN 101352660A)提供了一种采用扩散稀释式动态配气法的低浓度气体配制装置，具有成本低、操作简单、耗气量小、配气稳定的特点，但只适用于具有挥发或升华扩散特性且高沸点(常温液态)的气体。

实用新型内容

为了解决现有配气装置及方法系统复杂、成本高，或是能够配制的气体的种类有限的缺点。本实用新型提供一种适用范围广，操作简单，安全高效，运行成本低的低浓度气体的快速动态配制装置。

为了实现上述技术效果，本实用新型的技术方案是：一种低浓度气体的快速动态配制装置，其包括载气输出装置、流量控制器、射流器、储液罐、储气罐、第一蠕动泵、第二蠕动泵和用于连接各器件的气密管道，所述的载气输出装置和流量控制器依次通过气密管道连接后再连接至射流器的载气输入端，所述的储液罐、第一蠕动泵、储气罐和第二蠕动泵通过气密管道依次连接后再连接至射流器的原料气输入端。

上述的一种低浓度气体的快速动态配制装置，其所述的第一蠕动泵的转速为2～80r/min，所述的第二蠕动泵的转速为0.1～10r/min。

上述的一种低浓度气体的快速动态配制装置，其还包括一U型压力计，所述的U型压力计安装于储气罐上并用于测量储气罐内的压力。

上述的一种低浓度气体的快速动态配制装置，其还包括一单向阀，所述的单向阀的进气端和出气端分别通过气密管道连接至第二蠕动泵和射流器的原料气输入端。

上述的一种低浓度气体的快速动态配制装置，其还包括一二通阀，所述的二通阀的一端连接储液罐，另一端连接储气罐。

上述的一种低浓度气体的快速动态配制装置，其所述的射流器为采用对气体惰性且非吸附性材料制成，如：玻璃、石英、不锈钢、铜或黄铜等。

上述的一种低浓度气体的快速动态配制装置，其所述的单向阀为采用对气体惰性且非吸附性材料制成，如：玻璃、石英、不锈钢、铜或黄铜等。

上述的一种低浓度气体的快速动态配制装置，其所述的射流器的载气输入端的内径为3-8mm，所述的原料气输入端的内径为2-6mm，出气口的内径为4-20mm。

根据需配制气体的组分种数，设置相应数目的储液罐、储气罐和蠕动泵组，数量为1～5个。

本实用新型的技术效果在于，通过两个蠕动泵对气压和气体流速先进行粗调后再进行微调，能稳定的对气体进行调配，适用范围广，可用高纯度的原料气体配制低浓度气体，最低配气体浓度可小于100ppm，特别适合低浓度气体的长时间供气。系统运行稳定，操作简单，安全高效，运行成本低。采用射流器和混合管混合气体，具有混合均匀和气体浓度稳定速度快的特点，10分钟就可以达到稳定。

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图中1-载气输出装置；2-流量控制器；3-储液罐；4-储气罐；5-第一蠕动泵；6-第二蠕动泵；7-射流器，8-U型压力计；9-单向阀；10-二通阀。

具体实施方式

下面结合实施方式和实施例进一步说明本发明，而非限制本发明。

本实用新型的低浓度气体的快速动态配制装置，包括载气输出装置1、流量控制器2、射流器7、储液罐3、储气罐4、第一蠕动泵5、第二蠕动泵6和用于连接各器件的气密管道，载气输出装置1和流量控制器2依次通过气密管道连接后再连接至射流器7的载气输入端。储液罐3、第一蠕动泵5、储气罐4和第二蠕动泵6通过气密管道依次连接后再连接至射流器7的原料气输入端。一U型压力计8安装于储气罐4上并用于测量储气罐4内的压力。一单向阀9的进气端和出气端分别通过气密管道连接至第二蠕动泵6和射流器7的原料气输入端。一二通阀10的一端连接储液罐3，另一端连接储气罐4。

实施例1

应用图1装置配制低浓度SO₂：