[实用新型]应用于长晶炉的硅晶长成自动感测机构无效
| 申请号： | 201020503951.8 | 申请日： | 2010-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN201785547U | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 黄国城 | 申请（专利权）人： | 锴兴工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 朱丽华 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 应用于 长晶炉 长成 动感 机构 | ||
1.一种应用于长晶炉的硅晶长成自动感测机构，其特征在于包括：
一架构于该长晶炉反应室外部的驱动装置，该驱动装置与该长晶炉的控制系统耦合；
一硅晶体感测器，耦合于该驱动装置，并受其控制而执行线性移动的进给行程，该进给行程使该硅晶体感测器进入反应室内并抵达一感测硅晶体的位置；
一行程感测装置与该驱动装置耦合，量测上述进给行程的位移量，并将该位移量输出至该控制系统，该控制系统利用该位移量换算成该硅晶体的长成速率。
2.根据权利要求1所述的应用于长晶炉的硅晶长成自动感测机构，其特征在于：更包括一与该驱动装置及该控制系统耦合的时间控制器，在所设定的数个时点启动该驱动装置。
3.根据权利要求1所述的应用于长晶炉的硅晶长成自动感测机构，其特征在于：该驱动装置的动力源为伺服马达及步进马达中的择一。
4.根据权利要求1所述的应用于长晶炉的硅晶长成自动感测机构，其特征在于：该驱动装置的动力源为转子式马达及直线型马达。
5.根据权利要求1所述的应用于长晶炉的硅晶长成自动感测机构，其特征在于：该硅晶体感测器为接触式感测器或非接触式感测器的择一。
6.根据权利要求5所述的应用于长晶炉的硅晶长成自动感测机构，其特征在于：该接触式感测器为压力传感器、接触式电位计及位移计的择一。
7.根据权利要求5所述的应用于长晶炉的硅晶长成自动感测机构，其特征在于：该非接触式的硅晶体感测器为红外线感测器、超音波感测器、雷射光及非接触式电位计的择一。
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