[实用新型]硅杯腐蚀夹具

权利要求书

1.一种硅杯腐蚀夹具，包括安装块(1)，所述安装块(1)的中心区设有腐蚀孔(3)，安装块(1)的一端凸设有定位块(19)，所述定位块(19)与安装块(1)间形成台阶；其特征是：所述安装块(1)对应于设置定位块(19)的端部设有压板(6)，所述压板(6)上设有顶板(7)，所述顶板(7)上设有压片(12)，所述压片(12)与定位块(19)相紧固连接；顶板(7)与压板(6)利用压板紧固螺栓(10)相紧固连接。

2.根据权利要求1所述的硅杯腐蚀夹具，其特征是：所述定位块(19)上设有安装孔(5)；压片紧固螺栓(11)穿过压片(12)后嵌置在安装孔(5)内。

3.根据权利要求1所述的硅杯腐蚀夹具，其特征是：所述顶板(7)的中心区凸设有固定块(8)。

4.根据权利要求1所述的硅杯腐蚀夹具，其特征是：所述压板紧固螺栓(10)对应于与连接块(8)相接触的端部设有第一密封圈(9)。

5.根据权利要求1所述的硅杯腐蚀夹具，其特征是：所述顶板(7)的两端均设有第一连接块(13)。

6.根据权利要求1所述的硅杯腐蚀夹具，其特征是：所述压板(6)的端部凸设有第二连接块(15)。

7.根据权利要求7所述的硅杯腐蚀夹具，其特征是：所述第二连接块(15)上设有第三密封圈(16)。

8.根据权利要求1所述的硅杯腐蚀夹具，其特征是：所述安装块(1)与压板(6)间设有圆片(17)；所述圆片(17)对应于与安装块(1)相接触的表面设有第四密封圈(18)。

9.根据权利要求8所述的硅杯腐蚀夹具，其特征是：所述安装块(1)与圆片(17)相对应的内壁设置密封槽(2)；第四密封圈(18)嵌置在密封槽(2)内。