[实用新型]靶材结构及其溅镀设备有效
| 申请号： | 201020262992.2 | 申请日： | 2010-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN201834964U | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 陈维燕 | 申请（专利权）人： | 华映视讯(吴江)有限公司;中华映管股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 孙长龙 |
| 地址： | 215217 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 结构 及其 设备 | ||
1.一种靶材结构，其特征在于，包括：
一靶材主体，具有彼此相对的一上表面与一下表面、多个侧表面连接该上表面与该下表面以及至少一倾斜面，其中该倾斜面连接该上表面与至少一该侧表面，且该倾斜面与该上表面夹一特定角度，该特定角度的范围介于1度至89度之间。
2.如权利要求1所述的靶材结构，其特征在于，该靶材主体更具有一有效溅镀区以及一无效溅镀区，该无效溅镀区位于该有效溅镀区的周围，且该倾斜面位于该无效溅镀区。
3.如权利要求2所述的靶材结构，其特征在于，该靶材主体为一矩形靶材主体，该矩形靶材主体具有一对长边以及一对短边，而该无效溅镀区位于该对短边。
4.如权利要求1所述的靶材结构，其特征在于，该靶材主体的材质包括金属或非金属。
5.一种溅镀设备，其特征在于，包括：
一靶材承载机构，具有一靶材容纳空间以及一背板；
一靶材结构，包括：
一靶材主体，配置该背板上且位于该靶材容纳空间中，该靶材主体具有彼此相对的一上表面与一下表面、多个侧表面连接该上表面与该下表面以及至少一倾斜面，其中该倾斜面连接该上表面与至少一该侧表面，且该倾斜面与该上表面夹一特定角度，该特定角度的范围介于1度至89度之间。
6.如权利要求5所述的溅镀设备，其特征在于，该靶材主体更具有一有效溅镀区以及一无效溅镀区，该无效溅镀区位于该有效溅镀区的周围，且该倾斜面位于该无效溅镀区。
7.如权利要求6所述的溅镀设备，其特征在于，该靶材主体为一矩 形靶材主体，该矩形靶材主体具有一对长边以及一对短边，而该无效溅镀区位于该对短边。
8.如权利要求5所述的溅镀设备，其特征在于，该靶材主体的材质包括金属或非金属。
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