[实用新型]一种硅片抛光装置有效

申请号：	201020261767.7	申请日：	2010-07-12
公开（公告）号：	CN201711851U	公开（公告）日：	2011-01-19
发明（设计）人：	库黎明;闫志瑞;索思卓;鲁进军;常青	申请（专利权）人：	北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司
主分类号：	B24B29/00	分类号：	B24B29/00;B24B57/02
代理公司：	北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100	代理人：	郭佩兰
地址：	100088***	国省代码：	北京;11
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摘要：
搜索关键词：	一种硅片抛光装置
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【权利要求书】：

1.一种硅片抛光装置，其特征在于：它包括：垂直方向设置的、带动硅片进行旋转的游轮圈(3)、位于游轮圈左侧的、由左传动部分(2)带动的左抛光轮(1)，位于游轮圈右侧的、由右传动部分(5)带动的右抛光轮(4)，左、右抛光轮上分别贴有用于硅片抛光的抛光垫(7)，还有直接供应抛光液到抛光垫上的抛光液供给部分(27)。

2.按照权利要求1所述的硅片抛光装置，其特征在于：所述的左、右抛光轮为抛光盘。

3.按照权利要求1所述的硅片抛光装置，其特征在于：抛光轮的材料为金属或陶瓷。

4.按照权利要求1所述的硅片抛光装置，其特征在于：抛光轮直径为150mm～250mm。

5.按照权利要求1所述的硅片抛光装置，其特征在于：游轮圈材料为树脂。

6.按照权利要求1所述的硅片抛光装置，其特征在于：抛光液供液部分的管道材料为树脂。

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