[实用新型]柱状电极

说明书

技术领域

本实用新型是关于一种柱状电极，尤其指一种具有冷却结构的柱状电极。

背景技术

溅镀技术在半导体产业中的应用非常广泛，主要使用在金属薄膜的制镀，或是用来修正或产生圆片集成电路上的电气特性。磁控溅镀是一种在系统内多增加磁场的溅镀方法，电子因为磁力线的影响，而螺旋性的前进。这样可以大幅增加气体的离子密度以及碰撞机会。离子密度一旦增加，溅镀率亦可以大幅度的提高。

柱状电极是一种具有圆柱状结构的电极，其应用于磁控溅镀系统中，可对一般不可挠或可挠式基板进行溅镀，以及进行其它的应用。

如图1所示，是一公知的溅镀装置1，此溅镀装置1包含有一真空腔体10以及一柱状电极11，其柱状电极11包括有：一圆柱状的中空壳体12、一入液管13、一出液管14、以及复数个磁石15。圆柱状的中空壳体12具有一中空腔体16，入液管13连通至中空腔体16内，用以输入冷却水至中空腔体16中；出液管14亦与中空腔体16连通，以将冷却水由中空腔体16中排出。

由于一般柱状电极11于使用过程中会产生热，而影响溅镀率，因此需要设置如入液管13以及出液管14等冷却装置来降低柱状电极11的温度。然而，公知技术中，此种以水充满整个柱状电极内部腔体的方法可达到的冷却效果并不佳，其推测是由于腔体过大而造成水流流速过低，因此冷却水无法有效将热量排出。此外，此种设计中需要大量的冷却水，对于使用上的成本计算，将是一个很大的问题。再者，此公知的柱状电极11于使用过程中，磁石15是完全浸泡于冷却水内，如此则更使组件寿命减低。

因此，为了解决上述公知的柱状电极所具有的缺点，本领域亟需一种新颖的柱状电极，使可具有高散热效果的特性，并可有效减少冷却水用量，并同时可提高组件使用寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种柱状电极，以克服公知技术中存在的缺陷。

为实现上述目的，本实用新型提供的柱状电极，包括：

一中空外壳体；

一中空内壳体，配置于该中空外壳体内，其中，该中空内壳体与该中空外壳体之间形成一冷却腔，该中空内壳体内具有一中空内腔体；

至少一磁石，布设于该中空内壳体的中空内腔体内；

一托座，其中，该中空外壳体以及该中空内壳体组设于该托座上；

一第一输液管，连通至该冷却腔；以及

一第二输液管，连通至该冷却腔。

所述的柱状电极，其中该第一输液管贯穿该中空内腔体，且该第一输液管的一第一管口配置于该中空内壳体的顶端。

所述的柱状电极，其中包括一电源供应源，与该托座电性耦接。

所述的柱状电极，其中包括一密封垫，配置于该中空外壳体及中空内壳体与该托座之间。

所述的柱状电极，其中包括多数个磁石。

所述的柱状电极，其中该中空外壳体的内直径与该中空内壳体的外直径差为2mm至20mm。

所述的柱状电极，其中该中空外壳体的内直径与该中空内壳体的外直径差为5mm至15mm。

所述的柱状电极，其中该中空外壳体的外直径为80mm至200mm。

所述的柱状电极，其中该中空外壳体的外直径为100mm至180mm。

所述的柱状电极，其中该磁石为一永久磁铁。

本实用新型提供的具冷却结构的柱状电极，是利用一中空内壳体而将中空外壳体内的空间分隔，而形成一独立的冷却腔以及中空内腔体，并使冷却水仅可于接近中空外壳体表面的冷却腔内流动(使中空内腔体不需充满水)，因此可大幅节省冷却水的使用量，降低使用成本。

此外，经由实验证实，由于本实用新型的柱状电极中冷却水流经空间(即冷却腔)相较于传统柱状电极中冷却水流经空间来的小，因此冷却水于冷却腔内的流速可被有效地增加，进而提升降温的效果。因此，本实用新型的柱状电极的冷却结构可达到的冷却效率较公知的柱状电极的冷却结构更佳。

再者，由于本实用新型的柱状电极中具有一中空内腔体，使磁石可容置于此中空内腔体中而不与水接触，因此可提升磁石的组件使用寿命。

附图说明

图1是一公知的溅镀装置的示意图。

图2是本实用新型一较佳实施例的溅镀装置的示意图。

图3是本实用新型另一较佳实施例的柱状电极的示意图。

附图中主要组件符号说明：