[实用新型]一种具有快速调零系统的白光干涉仪

权利要求书

1.一种具有快速调零系统的白光干涉仪，白光光源的白光经可移除窄带滤光片(17)、孔径光阑(16)、视场光阑(15)和准直系统准直后的平行光，经第一分光镜(7)反射进入显微镜物镜(10)，被第二分光镜(12)分成两束，一束打在参考反射镜(14)上，另一束打在被测表面(11)上，两束光在第二分光镜(12)上发生干涉后，经会聚透镜进入CCD相机(4)，经图像采集卡(22)与计算机(1)连接；安装在显微物镜上的压电陶瓷(9)和精密平移台(8)分别经AD/DA卡(2)与计算机(1)连接；其特征在于：由可调谐激光器(21)所发出的激光经扩束镜(20)扩束后通过装在准直系统后的第三分光镜(19)并入光路；在会聚透镜和相机之间设置对长波完全反射的二向色镜(6)，探测器(5)的一端接收二向色镜(6)的反射光，另一端经过AD/DA卡(2)与计算机(1)连接。

2.根据权利要求1所述的一种具有快速调零系统的白光干涉仪，其特征在于：所述的可调谐激光器(21)采用的是Nanoplus公司生产的分布反馈激光二极管，中心波长在760nm。