[发明专利]一种三氯氢硅生产尾气粉尘处理的方法

权利要求书

1.一种三氯氢硅生产过程中尾气粉尘的处理方法，其特征在于，所述的三氯氢硅生产过程中的产生的粉尘采用两步袋式过滤器处理，所述袋式过滤器设置有至少一个布袋吹管吹出氮气，所述布袋吹管包括设置在过滤器底部或顶部的主管、安装于主管上并平行于滤袋与滤袋之间的分管以及设置在每个分管上的至少一个喷嘴；所述袋式过滤器的粉尘入口处设置至少一个粉尘吹管，粉尘吹管吹出氮气，粉尘被吹散后沉积到袋式过滤器的底部。

2.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述袋式过滤器中设置的粉尘吹管设置有2～8个氮气吹嘴，其所吹氮气的压强为0.2～0.4MPa。

3.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，布袋吹管的上设置的平行于滤袋与滤袋之间的分管吹出氮气，吹氮气的时间为1～15秒，氮气的吹入频率为1～60次/小时，其中所吹氮气的压强为0.2～0.4MPa。

4.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，所述袋式过滤器内设置有氨气吹管，粉尘通过设置在袋式过滤器内的氨气吹管吹入氨气，氨气与氯化氢气体反应完毕后，所收集得到的粉尘直接排出或进入到第二袋式过滤器中。

5.根据权利要求4所述的处理方法，其特征在于，所述的袋式过滤器中吹入氨气时，通过袋式过滤器内设置的化学感应器监测反应进程，反应完成后直接排出或进入第二袋式过滤器中。

6.根据权利要求5所述的处理方法，其特征在于，所述的化学感应器感应到氯化氢的含量为1～50ppm、氨气的含量为1～50ppm时，将袋式过滤器收集的粉尘直接排出。

7.根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，第二袋式过滤器拦截得到的粉尘的经干燥、包装得到成品，干燥条件为70～85℃。

8.一种如权利要求1所述的三氯氢硅生产过程中尾气粉尘的处理设备，其特征在于，所述的设备含有两个袋式过滤器，所述袋式过滤器中设置至少一个布袋吹管，所述布袋吹管由设置在过滤器底部或顶部的主管、垂直安装与主管上位于滤袋与滤袋之间的分管以及每个分管上设置的至少一个喷嘴组成，所述袋式过滤器中的粉尘入口处设置有至少一个粉尘吹管。

9.根据权利要求8所述的处理设备，其特征在于，所述的布袋吹管中，各分管与主管连接处设置有电磁阀，所述的分管的高度为布袋底端到顶端的1/2到上1/3处，所述分管上垂直均匀分布有2～5个氮气喷嘴。

10.根据权利要求8所述的处理设备，其特征在于，所述第一袋式过滤器和第二袋式过滤器之间通过折管连接或者通过传送装置连接。