[发明专利]一种光束间不平行角度的补偿方法

权利要求书

1.一种光束间不平行角度的补偿方法，该方法应用于光刻机系统，该光刻机系统包括基底台、第一方向干涉仪和与该第一方向垂直的第二方向干涉仪，其特征在于，包括：

该基底台沿着该第一方向步进，由该第一、第二方向干涉仪同步测量，得到该第一方向干涉仪光束间不平行角度；

该基底台沿着该第二方向步进，由该第一、第二方向干涉仪同步测量，得到该第二方向干涉仪光束间不平行角度；

分别补偿该第一方向干涉仪和该第二方向干涉仪光束间不平行角度。

2.如权利要求1所述的光束间不平行角度的补偿方法，其特征在于，所述得到该第一方向干涉仪光束间不平行角度的方法为：

该基底台沿着该第一方向步进，步进过程中该第二方向干涉仪控制自身第二方向移动为恒定值，该第一方向干涉仪控制自身旋转为恒定值；

该基底台沿着该第一向步进时，由该第一方向干涉仪读取该第一方向测量位置，该第二方向干涉仪读取与该第一方向测量位置对应的测量旋转角度；

由读取的该第一方向测量位置和对应的测量旋转角度得到该第一方向干涉仪光束间不平行角度。

3.如权利要求2所述的光束间不平行角度的补偿方法，其特征在于，由读取的该第一方向测量位置和对应的测量旋转角度进行一阶线性拟合，得到该第一方向干涉仪光束间不平行角度，计算公式为

R_zy(i)＝K_x*X(i)+b，αx=2-Kx*dx]]>

其中，X(i)为该第一方向测量位置，R_zy(i)为对应的旋转角度，K_x、b_x为拟合系数，α_x为该第一方向干涉仪两光束间存在的不平行角度，dx为该第一方向干涉仪两光束间未考虑光束间不平行角度α_x时的距离。

4.如权利要求3所述的光束间不平行角度的补偿方法，其特征在于，补偿该第一方向干涉仪不平行角度时的光束光程补偿计算公式为：

l_x1＝X_C-dx*R_zy；l_x2＝X_C-0.5*X_C*α_x²+dx*R_zy

其中，l_x1、l_x2分别为第一方向干涉仪两光束对应光程，X_C、R_zy为该基底台沿着该第一方向步进到的当前该第一方向测量位置及对应的旋转角度，α_x为该第一方向干涉仪两光束间存在的不平行角度，dx为该第一方向干涉仪两光束间未考虑光束间不平行角度α_x时的距离。

5.如权利要求1所述的光束间不平行角度的补偿方法，其特征在于，所述得到该第二方向干涉仪光束间不平行角度的方法为：

该基底台沿着该第二方向步进，步进过程中该第一方向干涉仪控制自身第一方向移动为恒定值，该第二方向干涉仪控制自身旋转为恒定值；

该基底台沿着该第二方向步进时，由该第二方向干涉仪读取该第二方向测量位置，该第一方向干涉仪读取与该第二方向测量位置对应的测量旋转角度；

由读取的该第二方向测量位置和对应的测量旋转角度得到该第二方向干涉仪光束间不平行角度。