[发明专利]一种超高纯氨水中微量钙离子的检测方法有效

专利信息
申请号: 201010575063.1 申请日: 2010-12-06
公开(公告)号: CN102455321A 公开(公告)日: 2012-05-16
发明(设计)人: 殷建林;曹传兴 申请(专利权)人: 江苏达诺尔半导体超纯科技有限公司
主分类号: G01N27/64 分类号: G01N27/64
代理公司: 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 代理人: 张利强
地址: 215522 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 高纯 氨水 微量 离子 检测 方法
【权利要求书】:

1.一种超高纯氨水中微量钙离子的检测方法,其特征在于该检测方法包括下列步骤:

一、质谱条件

仪器型号:安捷伦ICP-MS 7500a;

标准液型号:安捷伦公司钙离子标准液8500-6940;

进样方法:全聚氟乙烯雾化枪G3139-65102;

测量方式:冷焰方式;

功率:900W;59信号值:1680;背景信号值80:2.1;

二、检验方法与计算

①、检验方法

(1)安捷伦公司销售的10ppm的钙离子标准液8500-6940,量取1ml,加入99ml超纯水,得100ppb溶液,再取1ml 100ppb溶液,加入99ml超纯水,得到1ppb钙离子标准液,通过全聚氟乙烯PFA进样管取样上机测试,得钙离子浓度信号值A1

(2)待其信号值稳定后,直接取电阻率达18.2MΩ·cm的纯水,全聚氟乙烯PFA进样管取样上机测定,得超纯水中的钙离子浓度信号值B1

(3)称取超纯氨水,加入超纯水,稀释Y倍,得到浓度为4-6%的检测用的稀氨水样品,用5%的超纯硝酸溶液进样,洗净全聚氟乙烯PFA进样管,待仪器信号稳定后,再用上述4-6%的氨水样品,取样,上机测试,得稀释后氨水混合液中钙离子浓度信号值B2

(4)如步骤(1)预先配置好中性的1ppb标准液,在再向该溶液中加入1ml配置好的4-6%的超纯氨水得加入4-6%稀氨水的1ppb的钙离子标准溶液,通过全聚氟乙烯PFA进样管取样上机测试,得钙离子浓度信号值A2

②、计算

N=B1*1000/A1

N=B2*1000/A2

X=Y*N-(Y-1)*N

X:最终氨水样品中钙浓度;

N:超水中钙离子含量;

N:稀释后氨水混合液中钙离子含量;

Y:稀释的倍数;

三、检验标准

超纯氨水中微量钙离子含量控制在5-100ppt。

2.根据权利要求1所述的一种超高纯氨水中微量钙离子的检测方法,其特征在于所述的全聚氟乙烯PFA进样管预先用5%的超纯硝酸水溶液进行清洗。

3.根据权利要求1所述的一种超高纯氨水中微量钙离子的检测方法,其特征在于所述的超纯氨水加入超纯水后稀释的倍数Y为4-6倍。

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