[发明专利]一种超高纯氨水中微量钙离子的检测方法有效
| 申请号: | 201010575063.1 | 申请日: | 2010-12-06 |
| 公开(公告)号: | CN102455321A | 公开(公告)日: | 2012-05-16 |
| 发明(设计)人: | 殷建林;曹传兴 | 申请(专利权)人: | 江苏达诺尔半导体超纯科技有限公司 |
| 主分类号: | G01N27/64 | 分类号: | G01N27/64 |
| 代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 张利强 |
| 地址: | 215522 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 高纯 氨水 微量 离子 检测 方法 | ||
1.一种超高纯氨水中微量钙离子的检测方法,其特征在于该检测方法包括下列步骤:
一、质谱条件
仪器型号:安捷伦ICP-MS 7500a;
标准液型号:安捷伦公司钙离子标准液8500-6940;
进样方法:全聚氟乙烯雾化枪G3139-65102;
测量方式:冷焰方式;
功率:900W;59信号值:1680;背景信号值80:2.1;
二、检验方法与计算
①、检验方法
(1)安捷伦公司销售的10ppm的钙离子标准液8500-6940,量取1ml,加入99ml超纯水,得100ppb溶液,再取1ml 100ppb溶液,加入99ml超纯水,得到1ppb钙离子标准液,通过全聚氟乙烯PFA进样管取样上机测试,得钙离子浓度信号值A1;
(2)待其信号值稳定后,直接取电阻率达18.2MΩ·cm的纯水,全聚氟乙烯PFA进样管取样上机测定,得超纯水中的钙离子浓度信号值B1;
(3)称取超纯氨水,加入超纯水,稀释Y倍,得到浓度为4-6%的检测用的稀氨水样品,用5%的超纯硝酸溶液进样,洗净全聚氟乙烯PFA进样管,待仪器信号稳定后,再用上述4-6%的氨水样品,取样,上机测试,得稀释后氨水混合液中钙离子浓度信号值B2;
(4)如步骤(1)预先配置好中性的1ppb标准液,在再向该溶液中加入1ml配置好的4-6%的超纯氨水得加入4-6%稀氨水的1ppb的钙离子标准溶液,通过全聚氟乙烯PFA进样管取样上机测试,得钙离子浓度信号值A2;
②、计算
N水=B1*1000/A1;
N样=B2*1000/A2;
X=Y*N样-(Y-1)*N水;
X:最终氨水样品中钙浓度;
N水:超水中钙离子含量;
N样:稀释后氨水混合液中钙离子含量;
Y:稀释的倍数;
三、检验标准
超纯氨水中微量钙离子含量控制在5-100ppt。
2.根据权利要求1所述的一种超高纯氨水中微量钙离子的检测方法,其特征在于所述的全聚氟乙烯PFA进样管预先用5%的超纯硝酸水溶液进行清洗。
3.根据权利要求1所述的一种超高纯氨水中微量钙离子的检测方法,其特征在于所述的超纯氨水加入超纯水后稀释的倍数Y为4-6倍。
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