[发明专利]电子束诱导金属沉积增强悬空纳米管器件横向刚度的方法

权利要求书

1.一种电子束诱导金属沉积增强悬空纳米管器件横向刚度的方法，包括下列步骤：

1)将需要刚度优化的悬空纳米管器件置于聚焦电子束设备样品台上；

2)通过电子束成像系统对纳米管器件进行形貌观测，调整聚焦电子束设备的工作距离；

3)加热金属有机化合物使其变成气态，并使金属有机化合物气体流过悬空纳米管器件；

4)然后开启聚焦电子束设备的聚焦电子束发生器，对纳米管器件的局部或全部进行电子束扫描照射；

5)在电子束指定照射区域，在电子束的照射轰击下，金属化合物气体被分解，金属沉积物沉积到受电子束照射的纳米管上；

6)达到预期沉积参数后，停止电子束照射，关闭金属有机化合物气体阀门，并停止对其加热。

2.根据权利要求1所述的电子束诱导金属沉积增强悬空碳纳米管器件横向刚度的方法，其特征在于，所述的金属有机化合物为加热后可变成气态的钨、金、铝和铂的金属有机化合物。

3.根据权利要求1所述的电子束诱导金属沉积增强悬空碳纳米管器件横向刚度的方法，其特征在于，利用电子束照射所有纳米管的区域，使金属沉积物将纳米管全部包裹。

4.根据权利要求1所述的电子束诱导金属沉积增强悬空碳纳米管器件横向刚度的方法，其特征在于，对电子束照射局部纳米管器件，确保纳米管悬空末端不被金属沉积；

5.根据权利要求1所述的电子束诱导金属沉积增强悬空碳纳米管器件横向刚度的方法，其特征在于，对电子束照射局部纳米管器件，确保纳米管悬空末端不被金属沉积，同时在靠近纳米管与基底固定的位置增加电子束扫描照射时间，实现更多金属沉积。