[发明专利]直接针测式的探针测试装置

权利要求书

1.一种直接针测式的探针测试装置，包括：

一探针接口板；

一空间转换器，该空间转换器包括至少一空间转换板与一增强板，该增强板位在该探针接口板与该空间转换板间，该增强板的内部设有电路，该增强板与该空间转换板藉由焊锡而电连接，且该增强板的机械强度大于该空间转换板的机械强度；

一导电弹性机构，该导电弹性机构位在该增强板与该探针接口板间，且该导电弹性机构分别与该探针接口板与该增强板电连接；

一固定框，该固定框包括一补强圈、一框体、与一抵压部，该补强圈设置在该探针接口板上，该框体内则容纳着该导电弹性机构，且该抵压部则抵压着该空间转换器；及

至少一垂直式探针组，各垂直式探针组包括多个垂直式探针，这些垂直式探针是与该空间转换板电连接。

2.如权利要求1所述的探针测试装置，其中该抵压部是抵压在该增强板上。

3.如权利要求1所述的探针测试装置，其中该抵压部是抵压在该空间转换板上。

4.如权利要求1所述的探针测试装置，其中该增强板为多层陶瓷结构，而该空间转换板为多层有机结构。

5.如权利要求4所述的探针测试装置，其中该空间转换板的厚度小于1.8mm，该增强板的厚度大于1.0mm。

6.如权利要求5所述的探针测试装置，其中该空间转换板的厚度小于1.5mm，该增强板的厚度大于1.5mm。

7.如权利要求1所述的探针测试装置，其中在该增强板与该空间转换板间的焊锡的周围环绕有一填充层，其中该填充层的材质为高分子材质。

8.如权利要求1所述的探针测试装置，其中该空间转换板的杨氏系数为11Gpa，该增强板的杨氏系数为120Gpa。

9.如权利要求1所述的探针测试装置，其中该导电弹性机构包括一支撑板与多个电触头，这些电触头是穿设过该支撑板并被该支撑板所固定，且该电触头具有弹性。

10.如权利要求1所述的探针测试装置，还包括一保护装置，相对于该固定框的抵压部，该保护装置抵压着该空间转换器的另外一侧。

11.如权利要求10所述的探针测试装置，其中该保护装置包括至少两个保护垫片，该保护垫片的两端分别抵压着该探针接口板与该增强板。

12.如权利要求10所述的探针测试装置，其中该保护装置包括至少两个保护螺丝，该保护螺丝是穿设过该探针接口板，且该保护螺丝的底部抵接着该增强板。

13.如权利要求10所述的探针测试装置，其中该保护装置包括一限位部，该限位部设置在该固定框的框体上且抵压着该增强板。

14.如权利要求10所述的探针测试装置，其中该保护装置包括一保护框，该保护框包括一中空的部份，以用于容纳放置该导电弹性机构，该保护框的两端分别抵压着该探针接口板与该增强板。

15.如权利要求10至权利要求14中任一项所述的探针测试装置，其中该保护装置是位在该导电弹性机构的外围。

16.如权利要求1所述的探针测试装置，其中该增强板内部的电路是垂直贯穿该增强板。

17.如权利要求1所述的探针测试装置，其中该框体与该抵压部为一体成型。

18.如权利要求1所述的探针测试装置，还包括一保护螺丝，该保护螺丝是穿设过该探针接口板与该导电弹性机构的中央区域，且该保护螺丝的底部抵接着该增强板。

19.如权利要求1所述的探针测试装置，其中该保护装置包括一保护薄膜，而该导电弹性机构包括一支撑板与多个电触头，这些电触头是穿设过该支撑板并被该支撑板所固定，且该电触头具有弹性，该保护薄膜是位在该支撑板与该增强板间或者是位在该支撑板与该探针接口板间，且该保护薄膜上具有多个穿孔以供该电触头穿设而过。

20.如权利要求1所述的探针测试装置，其中该空间转换板与该垂直式探针组的个数皆为多个，且每一垂直式探针组皆分别电连接到其中一空间转换板。