[发明专利]新型常开阀气体质量流量控制器

说明书

技术领域

本发明涉及一种气体质量流量控制器，尤其涉及一种新型常开阀气体质量流量控制器。

背景技术

质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。

现有技术中的质量流量控制器均采用常闭型的电磁阀来控制气体的流量。在一些特殊要求的场合，如：断电时，需要继续通气体作保护的设备，常闭型质量流量控制器就不适用于该种场合。

现有技术中也有少量常开型气体质量流量控制器。但存在体积大、结构复杂、加工难度大、成本高等诸多的技术问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种结构紧凑、体积小、成本低、控制精度高的新型常开阀气体质量流量控制器。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

本发明的新型常开阀气体质量流量控制器，包括计量部分、控制部分和调节阀，所述的调节阀为常开结构，包括常开阀组件，所述的常开阀组件包括阀体组件，所述阀体组件的外部套有线圈，所述阀体组件的内腔设有阀芯组件，所述阀体组件的内腔的下口设有阀口，所述阀口与所述阀芯组件之间设有磁座，所述阀芯组件与所述阀体组件的内腔之间设有导向套。

由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明所述的新型常开阀气体质量流量控制器，由于常开阀组件包括阀体组件，阀体组件的外部套有线圈，阀体组件的内腔设有阀芯组件，阀体组件的内腔的下口设有阀口，阀口与阀芯组件之间设有磁座，阀芯组件与阀体组件的内腔之间设有导向套。通电时，磁座产生的磁力将将阀芯组件向下吸，调节气体流量或关闭，断电时，磁座失磁，阀芯组件上移，阀门常开。结构紧凑、体积小、成本低、控制精度高。

附图说明

图1为本发明新型常开阀气体质量流量控制器的拆分状态示意图；

图2为本发明新型常开阀气体质量流量控制器的结构示意图；

图3为本发明中调节阀组件的结构示意图；

图4为本发明中阀体组件的结构示意图；

图5a为本发明中阀芯组件的结构示意图；

图5b为本发明中芯体的结构示意图；

图6为本发明中气体质量流量控制器的工作原理图。

具体实施方式

本发明的新型常开阀气体质量流量控制器，其较佳的具体实施方式是：

包括计量部分、控制部分和调节阀，所述的调节阀为常开结构，包括常开阀组件，其特征在于，所述的常开阀组件包括阀体组件，所述阀体组件的外部套有线圈，所述阀体组件的内腔设有阀芯组件，所述阀体组件的内腔的下口设有阀口，所述阀口与所述阀芯组件之间设有磁座，所述阀芯组件与所述阀体组件的内腔之间设有导向套。

所述阀体组件包括衔铁、套圈、阀座，所述套圈装进所述阀座中部的圆槽内，所述衔铁装进所述套圈中部的圆槽内，所述套圈与所述阀座及所述衔铁与所述套圈之间的连接缝焊接密封。

所述阀芯组件包括芯体和弹簧片，所述芯体的下部设有圆台面，所述圆台面的上表面设有台阶，所述弹簧片装在所述圆台面上并套在所述台阶的外缘上，所述弹簧片与所述台阶之间进行焊接固定。

所述阀芯组件和导向套装入所述阀体组件的内腔之后，再将所述磁座和阀口依次装入到所述阀体组件的内腔，所述弹簧片的外缘被压在所述磁座与所述阀体组件内腔的上壁之间。

所述磁座与所述弹簧片之间设有调整垫。

所述常开阀组件装在底座上，所述阀口与所述底座之间及所述阀体组件与所述底座之间设有金属密封圈。现有的质量流量控制器普遍采用非金属材料密封，缺点是：一方面非金属材料易老化，可靠性低；另一方面耐腐蚀性能力有限，不能用于有较强腐蚀性气体，应用范围窄。本发明质量流量控制器，为了提高其耐腐蚀性，在所有要求密封处，均可以采用金属密封圈来密封。

下面通过具体实施例并结合附图对本申请进行详细的描述：

如图1、图2所示，本发明的质量流量控制器，包括底座1、接头2、分流器3、传感器4、常开阀组件5、电路板6、外壳7、螺钉8、支架9、螺钉10、螺钉61等。

在底座1一端的进气孔内装入分流器3，在底座1的另一端装有接头2；在底座1的上面装上传感器4和常开阀组件5，并用螺钉61拧紧固定；电路板6装在支架9上，支架9装在传感器4上，并用螺钉8固定；盖上外壳7，并用螺钉10固定在接头2上。

如图1、图3所示，常开阀组件5包括：导向套50、螺母51、阀罩52、线圈53、阀体组件54、阀芯组件55、调整垫56、磁座57、阀口58、大金属密封圈59、小金属密封圈60等。