[发明专利]粒子传感器

权利要求书

1.一种用于检测气流中的粒子的粒子传感器，包括：

-膜片(1)，

-膜片加热装置(2)，和

-至少两个设置在所述膜片(1)上的用于测量导电性的测量电极(3，4)，

其中所述膜片(1)具有小于或等于50μm的厚度(d)。

2.根据权利要求1所述的粒子传感器，其特征在于，所述膜片(1)包含碳化硅。

3.根据权利要求1或2所述的粒子传感器，其特征在于，所述膜片加热装置(2)

-集成到所述膜片(1)中，或者

-构造在膜片表面上。

4.根据权利要求1至3之一所述的粒子传感器，其特征在于，膜片表面催化粒子、尤其是炭黑粒子的分解和/或燃烧。

5.根据权利要求1至4之一所述的粒子传感器，其特征在于，该传感器具有两个或者更多个单元，它们分别具有至少两个设置在膜片(1)上的用于测量导电性的测量电极(3，4)和膜片加热装置(2)。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，各单元的膜片表面具有不同的催化活性。

7.一种用于运行根据权利要求1至6之一所述的粒子传感器的方法，其中

-在粒子积聚模式中积聚粒子，以及

-在粒子测量模式中通过导电性测量和/或量热法测量来确定积聚的粒子量。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，进行与温度分布曲线相关的导电性测量和/或导热性测量。

9.根据权利要求7或8所述的方法，其特征在于，所积聚的粒子量间接地从不同于要确定的粒子的、其他的积聚的材料的导电性测量和/或导热性测量的结果中确定。

10.根据权利要求7至9之一所述的利用根据权利要求5或6所述的粒子传感器的方法，其特征在于，一个单元在粒子测量模式中，而一个或者多个另外的单元在粒子积聚模式中。