[发明专利]工艺数据的传送方法、装置及系统

权利要求书

1.一种工艺数据的传送方法，其特征在于，包括：

预先配置各种工艺数据的类型，所述类型包括实时性工艺数据和非实时性工艺数据；

采集工艺过程中的工艺数据，并判断所述工艺数据的类型；

如果所述工艺数据为实时性工艺数据，则每隔预置时间间隔将所述实时性工艺数据传送至上位机；

如果所述工艺数据为非实时性工艺数据，则缓存所述非实时性工艺数据；且当满足预置的上传条件时，打包所述缓存的非实时性工艺数据以生成数据包；并传送所述数据包至上位机。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，上述传送所述数据包至上位机具体为：通过线程池分配的专用线程，将数据包上传至上位机。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述将数据包传送至上位机，包括：

将数据待发消息发送至上位机；

接收上位机返回的数据接收消息；

将数据已发消息和所述数据包发送至上位机。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，依据所述非实时性工艺数据的数据变化率的快慢和/或数据量的大小预置所述上传条件。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述上传条件包括：

当前硅片工艺结束、当前批次硅片工艺结束和达到预置累计时段。

6.一种工艺数据的传送装置，其特征在于，包括：

类型配置模块，用于预先配置各种工艺数据的类型，所述类型包括实时性工艺数据和非实时性工艺数据；

数据采集模块，用于采集工艺过程中的工艺数据；

类型判断模块，用于依据类型配置模块的配置，判断所述数据采集模块采集的工艺数据的类型；

第一传送模块，用于当所述类型判断模块判断所述工艺数据为实时性工艺数据时，每隔预置时间间隔将所述实时性工艺数据传送至上位机；

数据缓存模块，用于当所述类型判断模块判断所述工艺数据为非实时性工艺数据时，缓存所述非实时性工艺数据；

第二传送模块，用于当所述数据缓存模块缓存的非实时性工艺数据满足预置的上传条件时，打包所述缓存的非实时性工艺数据以生成数据包；并传送所述数据包至上位机。

7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第二传送模块传送所述数据包至上位机具体为：通过线程池分配的专用线程，将数据包上传至上位机。

8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，所述第二传送模块包括：

消息发送子模块，用于将数据待发消息发送至上位机；

消息接收子模块，用于接收上位机返回的数据接收消息；

数据上传子模块，用于将数据已发消息和所述数据包发送至上位机。

9.如权利要求6所述的装置，其特征在于，依据所述非实时性工艺数据的数据变化率的快慢和/或数据量的大小预置所述上传条件。

10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，所述上传条件包括：

当前硅片工艺结束、当前批次硅片工艺结束和达到预置累计时段。

11.一种工艺数据的传送系统，其特征在于，包括设备端和上位机；

所述设备端包括工艺数据的传送装置，所述传送装置包括：

类型配置模块，用于预先配置各种工艺数据的类型，所述类型包括实时性工艺数据和非实时性工艺数据；

数据采集模块，用于采集工艺过程中的工艺数据；

类型判断模块，用于判断所述数据采集模块所采集的工艺数据的类型；

第一传送模块，用于当类型判断模块判断所述工艺数据为实时性工艺数据时，每隔预置时间间隔将所述实时性工艺数据传送至上位机；

数据缓存模块，用于当类型判断模块判断所述工艺数据为非实时性工艺数据时，缓存所述非实时性工艺数据；

第二传送模块，用于当数据缓存模块所缓存的非实时性工艺数据满足预置的上传条件时，打包所述缓存的非实时性工艺数据以生成数据包；并传送所述数据包至上位机；

所述上位机包括：

数据获取模块，用于获取所述设备端的第一传送模块传送的工艺数据，或者获取所述设备端的第二传送模块传送的数据包。

12.根据权利要求11所述的系统，其特征在于，所述设备端包括权利要求7-10任一项所述的工艺数据的传送装置。