[发明专利]一种微机械谐振式器件闭环驱动用的PID控制装置

权利要求书

1.一种微机械谐振式器件闭环驱动用的PID控制装置，其与一乘法器、一微机械谐振式器件、一前置读出电路、一滤波器和一幅度提取器构成一微机械谐振式器件闭环系统，其特征在于：所述PID控制装置由两个PID控制器和至少一个加法器构成，所述PID控制装置的输入端连接所述幅度提取器的输出端，所述PID控制装置的输出端连接所述幅度提取器的输入端。

2.如权利要求1所述的一种微机械谐振式器件闭环驱动用的PID控制装置，其特征在于：两个所述PID控制器为第一PID控制器和第二PID控制器，所述加法器包括第一加法器和第二加法器；其中，所述第一加法器、第一PID控制器和第二加法器串联连接，所述第二PID控制器的输出端连接所述第二加法器的输入端；所述幅度提取器的输出端连接所述第一加法器和第二PID控制器的输入端；所述第一加法器中预先设置有一振动幅度标准值，第一、二PID控制器中分别预先设置有传递函数C₁(s)、C₂(s)；

所述振动幅度标准值与所述幅度提取器输出的振动幅度之间的函数关系满足：

G1(s)=P(s)C1(s)P(s)[C1(s)+C2(s)]+1]]>

所述幅度提取器输出的振动幅度与扰动幅度值之间的函数关系满足：

G2(s)=P(s)P(s)[C1(s)+C2(s)]+1]]>

式中，P(s)是所述PID控制装置输出的振动幅度控制信号与所述幅度提取器输出的振动幅度之间的等效传递函数。