[发明专利]粒子光学组件

权利要求书

1.一种带电粒子束系统，该带电粒子束系统包括：

带电粒子源，该带电粒子源用于生成带电粒子束；

至少一个射束整形透镜，该射束整形透镜被所述带电粒子穿越；以及

物镜，该物镜被所述带电粒子穿越，其中，所述物镜具有中心轴和与该中心轴相关联的物面，其中，在所述物面的带电粒子入射的每一个位置处，平均入射方向可以被定义为带电粒子入射在相应位置处所遵循的全部方向的平均；

其中，所述至少一个射束整形透镜和所述物镜被设置成，使得在所述物面的包围所述中心轴的环状构形内部部分内的平均入射方向远离所述中心轴取向，并且使得在所述物面的包围所述环状构形内部部分的环状构形外部部分内的平均入射方向朝向所述中心轴取向。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束系统，其中，满足下面的关系：

0.5＜|θ_i/|θ_o|＜2，其中，

θ_i是在所述环状构形内部部分内的多个位置处的平均入射角中的最大平均角，而

θ_o是在所述环状构形外部部分内的多个位置处的平均入射角中的最大平均角。

3.根据权利要求2所述的带电粒子束系统，其中，|θ_o|＞1mrad。

4.根据权利要求3所述的带电粒子束系统，其中，所述外部环状构形部分中的平均入射角为所述最大平均角的位置设置在相对于所述中心轴大于30μm的距离处。

5.一种物镜排布结构，该物镜排布结构包括：

物体安装部，该物体安装部用于把要处理的物体安装在物面中，所述物体安装部具有用于向所述物体提供电压的电连接器；

第一电极，该第一电极设置在相对于所述物面的第一距离处，并且具有第一直径的孔，该孔和所述物镜排布结构的中心轴同心；

第二电极，该第二电极设置在相对于所述物面的第二距离处，并且设置在所述第一电极与所述物面之间，并且具有第二直径的孔，该孔和所述中心轴同心；

第一电压源，该第一电压源连接至所述第一电极，以使所述第一电极相对于所述电连接器处于第一电位；

第二电压源，该第二电压源连接至所述第二电极，以使所述第二电极相对于所述电连接器处于第二电位；

其中，所述第一距离和所述第二距离、所述第一直径和所述第二直径以及第一电压和第二电压被设置成满足下面的关系：

(E1-E2)2·(E1+E2)<0.3,]]>其中，

E₁是在所述第一电极相对于所述电连接器处于所述第一电位而所述第二电极处于和所述电连接器相同的电位的情况下所述物面处的电场；

E₂是在所述第一电极相对于所述电连接器处于所述第一电位而所述第二电极处于和所述第一电极相同的电位的情况下所述物面处的电场。