[发明专利]外延基板

权利要求书

1.一种用于成长发光二极管磊晶结构的外延基板，该外延基板包括：一第一表面以及与其相对的第二表面，该第一表面与第二表面之间的距离为该外延基板的厚度H，该外延基板的第一表面上形成有多个第一凹槽，每个第一凹槽具有一个第一底面，该外延基板上与第一底面相对的表面为生长表面，该生长表面用于外延生长发光二极管，该第一底面与生长表面之间的部分为生长区域，该第一底面与生长表面之间的距离为生长区域的厚度h，该生长区域的厚度h与该外延基板的厚度H满足如下关系：

h/H＜1/3。

2.如权利要求1所述的外延基板，其特征在于，该生长表面与该外延基板的第二表面在同一平面上。

3.如权利要求1所述的外延基板，其特征在于，该外延基板的第二表面上设置有保护层，该保护层围绕该生长区域设置。

4.如权利要求1所述的外延基板，其特征在于，该外延基板的第二表面上进一步形成多个与第一凹槽相对应的第二凹槽，每个第二凹槽具有一个第二底面，该第二凹槽的第二底面为所述生长表面。

5.如权利要求4所述的外延基板，其特征在于，该第一凹槽与该第二凹槽的深度相同。

6.如权利要求4所述的外延基板，其特征在于，该外延基板的第二表面上设置有保护层，该保护层围绕该生长区域设置。