[发明专利]一种复配十八烷胺缓蚀剂及其制备方法无效
| 申请号： | 201010288849.5 | 申请日： | 2010-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN101935840A | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 刘俊英;苏东海;辛秀兰;王晓杰;危腈 | 申请（专利权）人： | 北京电子科技职业学院 |
| 主分类号： | C23F11/14 | 分类号： | C23F11/14 |
| 代理公司： | 北京国林贸知识产权代理有限公司 11001 | 代理人： | 许文娟;李桂玲 |
| 地址： | 100029 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 十八 烷胺缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
1.一种复配十八烷胺缓蚀剂，其特征在于：由下述原料按其重量份数比制备而成：
十八烷胺 100
甲苯-4-磺酸钠 1.8-2.1
十二烷基硫酸钠 2.8-3.0
十二烷基苯磺酸钠 3.8-4.1
硝酸钠 1.0-1.2
纯净水 5000。
2.根据权利要求1所述的复配十八烷胺缓蚀剂，其特征在于：由下述原料按其重量份数比制备而成：
十八烷胺 100
甲苯-4-磺酸钠 2.0
十二烷基硫酸钠 2.8
十二烷基苯磺酸钠 4.0
硝酸钠 1.0
纯净水 5000。
3.根据权利要求1所述的复配十八烷胺缓蚀剂，其特征在于：由下述原料按其重量份数比制备而成：
十八烷胺 100
甲苯-4-磺酸钠 2.1
十二烷基硫酸钠 3.0
十二烷基苯磺酸钠 4.1
硝酸钠 1.2
纯净水 5000。
4.一种复配十八烷胺缓蚀剂，其特征在于：由下述原料按其重量份数比制备而成：
十八烷胺 100
甲苯-4-磺酸钠 1.8-2.1
十二烷基硫酸钠 2.8-3.0
十二烷基苯磺酸钠 3.8-4.1
硝酸钠 1.0-1.2
纯净水 500。
5.根据权利要求4所述的复配十八烷胺缓蚀剂，其特征在于：由下述原料按其重量份数比制备而成：
十八烷胺 100
甲苯-4-磺酸钠 2.0
十二烷基硫酸钠 2.8
十二烷基苯磺酸钠 4.0
硝酸钠 1.0
纯净水 500。
6.根据权利要求4所述的复配十八烷胺缓蚀剂，其特征在于：由下述原料按其重量份数比制备而成：
十八烷胺 100
甲苯-4-磺酸钠 2.1
十二烷基硫酸钠 3.0
十二烷基苯磺酸钠 4.1
硝酸钠 1.2
纯净水 500。
7.一种如权利要求1所述的复配十八烷胺缓蚀剂的制备方法，其特征在于制备步骤如下：
A、按照原料重量份数比称取十八烷胺、甲苯-4-磺酸钠、十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、硝酸钠加入到纯净水中，边加入边搅拌，搅拌均匀后得到复配十八烷胺缓释剂基液；
B、用浓度为10%的氨水调节复配十八烷胺缓释剂基液的pH值为10，然后将复配十八烷胺缓释剂基液加热至50±1℃，边加热边搅拌，并保温10-15分钟；
C、将复配十八烷胺缓释剂基液置于均质机中均质3次，均质机压力为30-35MPa,得到复配十八烷胺缓蚀剂产品。
8.一种如权利要求4所述的复配十八烷胺缓蚀剂的制备方法，其特征在于制备步骤如下：
A、按照原料重量份数比称取十八烷胺加入到纯净水中并进行搅拌，然后再称取甲苯-4-磺酸钠、十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、硝酸钠并加入到溶液中，边加入边搅拌，搅拌均匀后得到复配十八烷胺缓释剂基液；
B、用浓度为10%的氨水调节所述复配十八烷胺缓释剂基液的pH值为10，然后将复配十八烷胺缓释剂基液加热至50±1℃，边加热边搅拌，并保温10-15分钟；
C、将复配十八烷胺缓释剂基液置于均质机中均质3次，均质机压力为40-45MPa,得到复配十八烷胺缓蚀剂产品。
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