[发明专利]镱掺杂钇铝石榴石陶瓷平面及条形波导激光器件的制备方法

权利要求书

1.一种镱掺杂钇铝石榴石陶瓷平面及条形波导激光器件的制备方法，其特征在于，制备方法如下：

1)对镱掺杂钇铝石榴石陶瓷样品的待注入面进行抛光，并清洗抛光后的样品表面；

2)对样品的待注入面进行氮离子注入，形成平面波导；能量范围为7-10兆电子伏特，剂量范围为5×10¹⁴-2×10¹⁵离子每平方厘米；

3)对垂直于平面波导的两个端面抛光；

4)对平面波导进行退火处理；

5)在平面波导的两个抛光端面上镀激光谐振腔膜，形成平面波导激光器件；

利用光刻在步骤1)得到的样品的待注入面上制作光刻胶掩膜，然后重复步骤2)至5)，得到条形波导激光器件；

6)将泵浦光耦合到平面波导或条形波导激光器件中去，可输出波长在1030±1纳米的红外激光。

2.如权利要求1所述的镱掺杂钇铝石榴石陶瓷平面和条形波导激光器件的制备方法，其特征在于：氮离子注入时，氮离子为一价氮离子；热退火处理的条件是，温度范围260-300℃，时间范围30-60分钟。