[发明专利]富含水的剥离和清洗制剂及其使用方法

权利要求书

1.一种富含水的剥离和清洗制剂，包含：

1重量％-30重量％的选自羟胺、羟胺盐化合物及其混合物中的至少一种；

0.1重量％-5重量％的含有烷基二羟基苯和羟基喹啉的混合物的缓蚀剂；

选自5重量％-45重量％的可与所述羟胺混溶的链烷醇胺、5重量％-45重量％的水溶性溶剂及其组合中的一种组分；和

至少50重量％的水。

2.如权利要求1所述的制剂，其中所述烷基二羟基苯含有直链或分支的含2-6个碳原子的烷基，且所述羟基喹啉选自2-羟基喹啉、4-羟基喹啉、6-羟基喹啉和8-羟基喹啉。

3.如权利要求1所述的制剂，其中所述链烷醇胺选自单乙醇胺、氨基乙氧基乙醇、氨丙基吗啉、单乙醇胺、N-甲基乙醇胺、N-乙基乙醇胺、N，N-二甲基乙醇胺、N，N-二乙基乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、N-乙基二乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、叔丁基二乙醇胺、异丙醇胺、2-氨基-1-丙醇、3-氨基-1-丙醇、2-氨基-1-丁醇、异丁醇胺、2-氨基-2-乙氧基丙醇、2-氨基-2-乙氧基乙醇及其混合物。

4.如权利要求1所述的制剂，其中所述烷基二羟基苯为叔丁基邻苯二酚，所述羟基喹啉为8-羟基喹啉，且所述链烷醇胺为单乙醇胺。

5.如权利要求1或3所述的制剂，其中所述水溶性溶剂选自乙二醇、丙二醇、苯甲醇、二甲亚砜、二甲基脲、甘油、一缩二丙二醇单甲醚、n-甲基吡咯烷酮、四氢糠醇、四甲氧基乙烷及其混合物。

6.如权利要求5所述的制剂，其中所述烷基二羟基苯为叔丁基邻苯二酚，且所述羟基喹啉为8-羟基喹啉。

7.如权利要求1所述的制剂，其中所述烷基二羟基苯为叔丁基邻苯二酚，所述羟基喹啉为8-羟基喹啉，所述链烷醇胺为单乙醇胺，且所述水溶性溶剂选自乙二醇、丙二醇、苯甲醇、二甲亚砜、二甲基脲、甘油、一缩二丙二醇单甲醚、n-甲基吡咯烷酮、四氢糠醇、四甲氧基乙烷及其混合物。

8.一种从半导体基底上除去光致抗蚀剂、蚀刻或灰化残留物以及污染物的方法，包括：

将半导体基底与包含以下组分的制剂接触：

1重量％-30重量％的选自羟胺、羟胺盐化合物及其混合物中的至少一种；

0.1重量％-5重量％的含有烷基二羟基苯和羟基喹啉的混合物的缓蚀剂；

选自5重量％-45重量％的可与所述羟胺混溶的链烷醇胺、5重量％-45重量％的水溶性溶剂及其组合中的一种组分；和

至少50重量％的水。

9.如权利要求8所述的方法，其中所述烷基二羟基苯含有直链或分支的含2-6个碳原子的烷基，且所述羟基喹啉选自2-羟基喹啉、4-羟基喹啉、6-羟基喹啉和8-羟基喹啉。

10.如权利要求8所述的方法，其中所述的一种组分为选自单乙醇胺、氨基乙氧基乙醇、氨丙基吗啉、单乙醇胺、N-甲基乙醇胺、N-乙基乙醇胺、N，N-二甲基乙醇胺、N，N-二乙基乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、N-乙基二乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、叔丁基二乙醇胺、异丙醇胺、2-氨基-1-丙醇、3-氨基-1-丙醇、2-氨基-1-丁醇、异丁醇胺、2-氨基-2-乙氧基丙醇、2-氨基-2-乙氧基乙醇及其混合物的链烷醇胺。

11.如权利要求10所述的方法，其中所述烷基二羟基苯为叔丁基邻苯二酚，所述羟基喹啉为8-羟基喹啉，且所述链烷醇胺为单乙醇胺。

12.如权利要求8所述的方法，其中所述的一种组分为选自乙二醇、丙二醇、苯甲醇、二甲亚砜、二甲基脲、甘油、一缩二丙二醇单甲醚、n-甲基吡咯烷酮、四氢糠醇、四甲氧基乙烷及其混合物的水溶性溶剂。

13.如权利要求12所述的方法，其中所述烷基二羟基为叔丁基邻苯二酚，且所述羟基喹啉为8-羟基喹啉。

14.如权利要求8所述的方法，其中所述的一种组分为可与所述羟胺混溶的链烷醇胺与水溶性溶剂的组合。