[发明专利]打线机台及适用于打线机台的遮蔽气体供应装置有效

专利信息
申请号: 201010250558.7 申请日: 2010-08-10
公开(公告)号: CN102013406A 公开(公告)日: 2011-04-13
发明(设计)人: 黄凯麟;杜嘉秦 申请(专利权)人: 日月光半导体制造股份有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;H01L21/603
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 邱军
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 机台 适用于 遮蔽 气体 供应 装置
【权利要求书】:

1.一种打线机台,包括:

主体;

夹块,具有一限定于其中的腔室以及一形成于该夹块的一侧壁且连通该腔室的中心孔;

固定块,具有一向上延伸以固定于该主体上的定位构件以及一向下延伸至该夹块的该腔室的电极夹持构件;

气体供应管,连接该夹块的该腔室,用以供应一保护气体;

遮蔽气体供应装置,具有限定于其中的一连续气体通道以及一孔洞,其中该遮蔽气体供应装置通过该中心孔而固定于该夹块上,且该连续气体通道连通该腔室;

毛细工具,相对于一芯片上的多个将被接合的芯片接垫固定于该主体,用以上下往复运动在该遮蔽气体供应装置的该孔洞内;以及

电极,该电极夹持构件夹持该电极的一端,而该电极的另一端延伸于该连续气体通道内且至该孔洞;

其中该保护气体流入一稳定流场中,其环绕于该遮蔽气体供应装置的该连续气体通道的该孔洞区域内。

2.如权利要求1所述的打线机台,其中该固定块的该电极夹持构件形成具有一电极夹持部的一分裂,用以夹持该电极,且该固定块印刷一高导电材料在其完整外表面上,以增加该电极的电火炬(electronic flame off)的表现。

3.如权利要求1所述的打线机台,其中该夹块具有多个环绕该腔室的固定孔,且该固定块具有多个对应该夹块的该些固定孔的孔,多个扣件通过该固定块的该些孔进入该夹块的该些固定孔而将该固定块固定至该夹块,此方式当该电极对应于该毛细工具而组装至该夹具以准确地定位于该遮蔽气体供应装置内时,该电极的位置可调整至所需的位置。

4.如权利要求1所述的打线机台,其中该遮蔽气体供应装置的该连续气体通道包括一从该腔室延伸至该孔洞的直线通道以及一位于该孔洞与一排气口之间的曲线通道。

5.一种打线机台,包括:

主体;

夹块,具有一限定于其中的腔室以及一形成于该夹块的一侧壁且连通该腔室的中心孔;

固定块,具有一向上延伸以固定于该主体上的定位构件以及一向下延伸至该夹块的该腔室的电极夹持构件;

气体供应管,连接该夹块的该腔室,用以供应一保护气体;

遮蔽气体供应装置,具有限定于其中的一气体通道以及一孔洞,其中该遮蔽气体供应装置通过该中心孔而固定于该夹块上,且该气体通道连通该腔室;

毛细工具,相对于一芯片上的多个将被接合的芯片接垫固定于该主体,用以上下往复运动于该遮蔽气体供应装置的该孔洞内;以及

电极,该电极夹持构件夹持该电极的一端,而该电极的另一端延伸于该气体通道内且至该孔洞;

其中该固定块印刷一高导电材料在其完整外表面上,以增加该电极的电火炬(electronic flame off)的表现。

6.如权利要求5所述的打线机台,其中该固定块的该电极夹持构件形成具有一电极夹持部的一分裂,用以夹持该电极。

7.如权利要求5所述的打线机台,其中该夹块具有多个环绕该腔室的固定孔,且该固定块具有多个对应该夹块的该些固定孔的孔,多个扣件通过该固定块的该些孔进入该夹块的该些固定孔而将该固定块固定至该夹块,此方式当该电极对应于该毛细工具而组装至该夹具以准确地定位于该遮蔽气体供应装置内时,该电极的位置可调整至所需的位置。

8.如权利要求5所述的打线机台,其中该遮蔽气体供应装置的该气体通道包括一从该腔室延伸至该孔洞的直线通道以及一位于该孔洞与一排气口之间的曲线通道,该直线通道与该曲线通道形成一连续气体通道,该保护气体流入一稳定流场中,其环绕于该遮蔽气体供应装置的该连续气体通道的该孔洞区域内。

9.如权利要求5所述的打线机台,其中该遮蔽气体供应装置的该气体通道包括一从该腔室延伸至该孔洞的直线通道以及一环绕该孔洞的圆形通道,该保护气体流入一涡流式流场中,其环绕于该遮蔽气体供应装置的该气体通道的该孔洞区域内。

10.如权利要求9所述的打线机台,其中该圆形通道具有多个放射状导引片,环绕配置于该孔洞。

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