[发明专利]高密集成线路的加工方法

权利要求书

1.一种高密集成线路的加工方法，其特征在于，包括：

步骤1：测量相邻实际图形之间的最小间距a，和补偿图形之间的最小间距b，其中，b＜a；

步骤2：当所述最小间距b小于加工尺寸c时，切削补偿图形最小间距处的金属层，其切削尺寸分别为Δb′和Δb，使得c≤b+Δb′+Δb＜a，所述加工尺寸c为刀具的宽度。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤1前进一步包括：

对基板上的图形的整体尺寸进行补偿，其补偿尺寸为(a-b)/2，且b＜a。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述补偿为均匀补偿。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在所述步骤2之后进一步包括：通过采用蚀刻工艺，去除所述实际图形外的金属。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所所述步骤蚀刻工艺之后包括：切削补偿图形的补偿部分得到实际图形。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述Δb′＝Δb。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述c＜b+Δb′+Δb＜a。