[发明专利]灰色调掩模

权利要求书

1.一种用于制造液晶显示装置的灰色调掩模，其特征在于，该灰色调掩模通过在透明基板上具有半透光膜图形、以及在透光部侧空出余量区域而形成在上述半透光膜图形上的遮光膜图形，由此具有：遮光膜图形与半透光膜图形层叠而成的遮光部，除遮光部以外的形成有半透光膜的半透光部，以及既未形成半透光膜又未形成遮光膜的透光部；

该灰色调掩模具有与上述半透光膜图形的形成同时形成的、用于曝光时的对位的标记图形。

2.根据权利要求1所述的灰色调掩模，其中，

上述标记图形的形成是通过以抗蚀剂图形作为掩模来刻蚀半透光膜而进行的，该抗蚀剂图形是通过在用于形成上述半透光膜图形的描绘数据中包含标记图形而形成的。

3.根据权利要求1所述的灰色调掩模，其中，上述标记图形的形成是通过以抗蚀剂图形作为掩模来刻蚀半透光膜和遮光膜而进行的，该抗蚀剂图形是通过在用于形成上述半透光膜图形的描绘数据中包含标记图形而形成的。