[发明专利]一种有效避免闩锁效应的可控硅ESD保护结构无效

专利信息
申请号: 201010187380.6 申请日: 2010-05-28
公开(公告)号: CN101916760A 公开(公告)日: 2010-12-15
发明(设计)人: 胡剑 申请(专利权)人: 上海宏力半导体制造有限公司
主分类号: H01L27/04 分类号: H01L27/04;H01L23/60
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 郑玮
地址: 201203 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 有效 避免 效应 可控硅 esd 保护 结构
【权利要求书】:

1.一种有效避免闩锁效应的可控硅ESD保护结构,其特征在于,包括可控硅器件以及与所述可控硅器件相连的控制电路,所述控制电路控制所述可控硅器件的通断。

2.如权利要求1所述的有效避免闩锁效应的可控硅ESD保护结构,其特征在于,所述可控硅器件包括P型衬底,所述P型衬底上包括N阱及P阱;所述N阱内包括第一N+注入区及第一P+注入区,所述P阱内包括第二N+注入区及第二P+注入区,所述第一N+注入区设置在远离P阱的一端,所述第一P+注入区设置在靠近P阱的一端;所述第二P+注入区设置在远离N阱的一端,第二N+注入区设置在靠近N阱的一端;所述第一N+注入区与所述第一P+注入区之间以及所述第二N+注入区与所述第二P+注入区之间均用浅沟槽隔离进行隔离,所述第一N+注入区及第一P+注入区接电学阳极,所述第二N+注入区及第二P+注入区接电学阴极。

3.如权利要求2所述的有效避免闩锁效应的可控硅ESD保护结构,其特征在于,所述控制电路包括一NMOS管、一电阻以及一电容,所述NMOS管的漏极接电学阳极,所述NMOS管的源极接所述N阱,所述NMOS管的栅极接所述电阻的一端,所述电阻的另一端接电学阳极,且所述NMOS管的栅极与所述电容的一端相连,所述电容的另一端接电学阴极。

4.如权利要求3所述的有效避免闩锁效应的可控硅ESD保护结构,其特征在于,所述NMOS管的源极通过一第三N+注入区与所述N阱相连,所述第三N+注入区设置在靠近P阱的一端。

5.如权利要求3所述的有效避免闩锁效应的可控硅ESD保护结构,其特征在于,所述电阻与所述电容组成的电路的RC延时为第一时间段,所述可控硅器件的静电放电时间为第二时间段,所述第一时间段大于所述第二时间段。

6.如权利要求3所述的有效避免闩锁效应的可控硅ESD保护结构,其特征在于,所述NMOS管的漏极与源极之间的电压小于0.7V。

7.如权利要求3所述的有效避免闩锁效应的可控硅ESD保护结构,其特征在于,所述电学阳极接ESD电荷注入端,所述电学阴极接地。

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