[发明专利]一种有效避免闩锁效应的可控硅ESD保护结构无效
| 申请号: | 201010187380.6 | 申请日: | 2010-05-28 |
| 公开(公告)号: | CN101916760A | 公开(公告)日: | 2010-12-15 |
| 发明(设计)人: | 胡剑 | 申请(专利权)人: | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/04 | 分类号: | H01L27/04;H01L23/60 |
| 代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 郑玮 |
| 地址: | 201203 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 有效 避免 效应 可控硅 esd 保护 结构 | ||
1.一种有效避免闩锁效应的可控硅ESD保护结构,其特征在于,包括可控硅器件以及与所述可控硅器件相连的控制电路,所述控制电路控制所述可控硅器件的通断。
2.如权利要求1所述的有效避免闩锁效应的可控硅ESD保护结构,其特征在于,所述可控硅器件包括P型衬底,所述P型衬底上包括N阱及P阱;所述N阱内包括第一N+注入区及第一P+注入区,所述P阱内包括第二N+注入区及第二P+注入区,所述第一N+注入区设置在远离P阱的一端,所述第一P+注入区设置在靠近P阱的一端;所述第二P+注入区设置在远离N阱的一端,第二N+注入区设置在靠近N阱的一端;所述第一N+注入区与所述第一P+注入区之间以及所述第二N+注入区与所述第二P+注入区之间均用浅沟槽隔离进行隔离,所述第一N+注入区及第一P+注入区接电学阳极,所述第二N+注入区及第二P+注入区接电学阴极。
3.如权利要求2所述的有效避免闩锁效应的可控硅ESD保护结构,其特征在于,所述控制电路包括一NMOS管、一电阻以及一电容,所述NMOS管的漏极接电学阳极,所述NMOS管的源极接所述N阱,所述NMOS管的栅极接所述电阻的一端,所述电阻的另一端接电学阳极,且所述NMOS管的栅极与所述电容的一端相连,所述电容的另一端接电学阴极。
4.如权利要求3所述的有效避免闩锁效应的可控硅ESD保护结构,其特征在于,所述NMOS管的源极通过一第三N+注入区与所述N阱相连,所述第三N+注入区设置在靠近P阱的一端。
5.如权利要求3所述的有效避免闩锁效应的可控硅ESD保护结构,其特征在于,所述电阻与所述电容组成的电路的RC延时为第一时间段,所述可控硅器件的静电放电时间为第二时间段,所述第一时间段大于所述第二时间段。
6.如权利要求3所述的有效避免闩锁效应的可控硅ESD保护结构,其特征在于,所述NMOS管的漏极与源极之间的电压小于0.7V。
7.如权利要求3所述的有效避免闩锁效应的可控硅ESD保护结构,其特征在于,所述电学阳极接ESD电荷注入端,所述电学阴极接地。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





