[发明专利]真空贴装方法及装置

权利要求书

1.一种真空贴装方法，其特征在于，具有以下步骤：

在能形成真空环境和大气开放的气密室，把片状、膜状、带状中任一形状的贴装部件和作为其贴装对象的被贴装部件隔开间隙地相向配置，在该状态下，经由上述贴装部件把该气密室分离成为相互独立的两个室；

使上述两个室之中的配置着上述被贴装部件的第1室成为减压状态，使另一方第2室的压力比上述第1室的压力高；

利用这两个室的压力差，把上述贴装部件压接贴装在被贴装部件侧。

2.一种真空贴装方法，其特征在于，采用贴装机本体、盖部件和压力控制机构；

上述贴装机本体具有部件安装部和位置控制机构，上述部件安装部把由环状架支承着的片状、膜状、带状中任一形状的贴装部件和作为其贴装对象的被贴装部件呈相向状态地安装，上述位置控制机构在使上述贴装部件和被贴装部件隔开微小间隙地相向的状态下在上下方向控制这些部件的位置；

上述盖部件，能开闭地将上述部件安装部的空间即气密室关闭，内面具有密封环；

上述压力控制机构，控制上述气密室的压力；

上述真空贴装方法具有以下步骤：

用上述压力控制机构将上述气密室减压成为真空环境；

在上述真空环境下，用上述位置控制机构使上述贴装部件和被贴装部件隔开微小间隙地相向，在该状态下，使上述贴装部件的上述环状架与设在上述盖部件内面的密封环相接，经由该贴装部件把上述气密室分离成为被贴装部件安装侧的第1室和上述盖部件的内面侧的第2室这两个室；

维持上述两个室之中的配置着上述被贴装部件的上述第1室的减压状态，使另一方的上述第2室的压力比上述第1室的压力高；

利用这两个室的压力差，把上述贴装部件压接贴装在被贴装部件侧。

3.如权利要求1或2所述的真空贴装方法，其特征在于，上述两个室的压力差的形成，是在把上述两个室一起减压、形成为真空后，只使上述第2室成为大气压或加压环境而实现的。

4.如权利要求1至3中任一项所述的真空贴装方法，其特征在于，根据上述被贴装部件和贴装部件的种类、形状、厚度中的至少一个，可变地控制上述压力差和上述微小间隙中的至少一个。

5.如权利要求1至4中任一项所述的真空贴装方法，其特征在于，将上述被贴装部件和上述贴装部件隔开微小间隙相向配置时，根据上述被贴装部件的厚度，用上述位置控制机构可变地调节上述被贴装部件的上下方向的位置。

6.一种真空贴装装置，备有：被贴装部件安装部、贴装部件安装部、两室分离机构和压力控制机构；

上述被贴装部件安装部用于安装被贴装部件；

上述贴装部件安装部用于安装片状、膜状、带状中任一形状的贴装部件；

上述两室分离机构，在能形成真空环境和大气开放的气密室，使上述被贴装部件和上述贴装部件隔开微小间隙地相向，在该状态下，经由上述贴装部件将该气密室分离成相互独立的两个室，并且，使上述被贴装部件位于这两个室中的第1室；

上述压力控制机构，在把上述两个室减压成真空状态后，使上述两个室中的第2室的压力比上述第1室的压力高，形成压力差；

利用该压力差，把上述贴装部件压接贴装到被贴装部件侧。

7.如权利要求6所述的真空贴装装置，其特征在于，

上述贴装部件由环状架保持；

上述贴装部件的安装部被盖部件从上方经由密封部件覆盖；

在上述盖部件的内面设有密封环，在上述盖部件关闭着上述贴装部件的安装部的状态时，该密封环设在与上述贴装部件的上述环状架的上面相向的位置；

上述两室分离机构具有位置控制机构，该位置控制机构使上述被贴装部件和上述贴装部件保持着预定的微小间隙地向上方向移动，使上述贴装部件的上述环状架的上面与上述密封环相接；上述两室分离机构被设定成，通过该环状架与上述密封环相接，在上述盖部件的内面与上述贴装部件的上面之间形成与上述第1室独立的上述第2室。

8.如权利要求6或7所述的真空贴装装置，其特征在于，上述两个室与分别独立地、带有能随时改变真空度的频率变换器的真空泵连接。

9.如权利要求6至8中任一项所述的真空贴装装置，其特征在于，在支承上述被贴装部件安装部的部件中，内置有用于加热上述被贴装部件的加热器。