[发明专利]飞秒激光加工装置无效
| 申请号： | 201010177608.3 | 申请日： | 2010-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN101862899A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 程亚;何飞;徐晗;熊辉;倪洁蕾;冯雯;徐至展 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/06;G02B27/09 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种飞秒激光加工装置，包括一台飞秒激光器(1)，其特征在于构成还包括：沿所述的飞秒激光器(1)输出的飞秒激光光路依次是小孔光阑(2)、平行光栅对(3)、双色镜(5)、显微物镜(6)、加工对象(7)，该加工对象(7)固定于三维精密电控位移平台(8)上并使所述的显微物镜(6)的焦点位于该加工对象(7)的内部，所述的双色镜(5)与所述的飞秒激光光路的夹角为45°，在该双色镜(5)的垂直方向设置照明光源(9)，该照明光源(9)所发出的白光经所述的双色镜(5)反射后再通过显微物镜(6)聚焦于加工对象(7)的加工区域，为整个加工过程提供照明，在所述的双色镜(5)另一反射方向依次设置透镜(10)和CCD(11)，所述的三维精密电控位移平台(8)和CCD(11)与计算机(12)相连。
2.根据权利要求1所述的飞秒激光加工装置，其特征在于所述的平行光栅对(3)的两个光栅分别固定在两个旋转及位移平台(4)上。
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