[发明专利]镀膜装置

权利要求书

1.一种镀膜装置，其包括一个镀膜腔体、一个设置于该镀膜腔体内且呈放射状的伞架及多个与该伞架相对设置的蒸镀源，该镀膜腔体包括一个底板，其特征在于：该蒸镀源包括一个固设于该底板的套筒及一个设置于该套筒内且可沿该套筒的轴向移动的移动件，该移动件靠近该伞架的一端设置一个用于收容镀膜原料的承载槽，通过移动该移动件使多个蒸镀源的承载槽到该伞架的距离相等。

2.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于：该套筒内壁上设置有内螺纹，该移动件的外壁上设置有与该内螺纹配合的外螺纹，该移动件通过该内螺纹与该外螺纹配合来实现沿该套筒的轴向移动。

3.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于：该蒸镀源还包括一个安装件，该套筒通过该安装件固设于该底板。

4.如权利要求3所述的镀膜装置，其特征在于：该底板上开设有一安装孔，该安装件包括一个固设于该安装孔内的固定部及一个与该固定部垂直连接的连接部，该固定部开设有一个收容孔，该连接部开设有一个贯通孔，该套筒紧密设置于该贯通孔内。

5.如权利要求4所述的镀膜装置，其特征在于：该收容孔及该贯通孔的轴向长度大于该移动件的轴向长度。

6.如权利要求4所述的镀膜装置，其特征在于：该固定部与该连接部为一体成型结构。

7.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于：该蒸镀源还包括一个喷头，该喷头为圆台形腔体，该喷头包括一个具有较小直径的第一端及一个与该第一端相对且具有较大直径的第二端，该第一端开设有一个喷口，该第二端固接于该固定部。

8.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于：该镀膜装置还包括一个电浆离子源及一个与该电浆离子源相连的导气管，该电浆离子源可经过该导气管通入该镀膜腔体内。