[发明专利]声学共鸣腔特征长度测量装置

权利要求书

1.一种声学共鸣腔特征长度测量装置，包括：光源部分，该光源部分具有第一激光器和第二激光器；腔长测量部分，其包括有待测长度的声学共鸣腔，其中，所述光源部分的第一激光器和第二激光器产生的激光在所述声学共鸣腔中产生等倾干涉环；以及数据处理分析系统，该数据处理分析系统根据所述腔长测量部分的等倾干涉环获得所述声学共鸣腔的腔长值。

2.如权利要求1所述的长度测量装置，其中，所述第一激光器为He-Ne高稳频激光器，所述第二激光器为半导体稳频激光器。

3.如权利要求2所述的长度测量装置，其中，所述长度测量装置进一步包括波长计，该波长计用于确定所述半导体稳频激光器的瞬态波长值。

4.如权利要求1-3任一项所述的长度测量装置，其中，所述腔长测量部分进一步包括有光束自动切换系统、扩束器、声学共鸣腔、旋转台、光透镜具组和CCD。

5.如权利要求4所述的长度测量装置，其中，所述长度测量装置进一步包括有第一光纤耦合器和第二光纤耦合器，激光光束通过所述第一光纤耦合器或第二光纤耦合器分成进入波长计和腔长测量部分的两束激光。

6.如权利要求5所述的长度测量装置，其中，在第一激光器与第一光耦合器之间设置有第一光隔离器，在第二激光器与第二光耦合器之间设置有第二光隔离器。

7.如权利要求5或6所述的长度测量装置，其中，所述数据处理分析系统进一步包括对所述长度测量装置的各个部件进行控制的自动控制程序和对等倾干涉环进行处理的图像处理程序。

8.如权利要求7所述的长度测量装置，其中，所述声学共鸣腔由前平晶、腔体、后平晶组成，所述腔体由轴承钢材料制成的。 

9.如权利要求8所述的长度测量装置，其中，所述扩束器为在距声学共鸣腔的前平晶的20mm处设置的焦距为50mm的凸透镜，其对激光光束进行扩束。

10.如权利要求9所述的长度测量装置，其中，所述CCD的芯片尺寸为1.0×0.8cm²，像素元尺寸为6.45×6.45μm²，所述光具组为焦距300mm的凸透镜。