[发明专利]石英坩埚内表面处理工艺

权利要求书

1.石英坩埚内表面处理工艺，其特征是，包括如下步骤：

a.把石英砂倒入真空模具内按照现有技术制成石英坩埚；

b.在3300-3800条件下把表面处理层涂料喷涂到石英坩埚内壁；

c.开启真空泵，保持温度3-9分钟后关闭真空泵；

d.熔制完成后关闭电极电源，模具开出熔制室，坩埚自然冷却25-30 分钟后出炉；所述的表面层涂料包括1000份高纯石英砂，0.5-5份柠檬 酸锌。

2.如权利1所述工艺，其特征是：所述的表面层涂料还包括0-3份 柠檬酸锗，0-2份柠檬酸锶。

3.如权利2所述工艺，其特征是：所述的表面层涂料还包括含钡物 质0-5份，含镁物质0-1份，含钙物质0-0.5份；所述含钡物质为碳酸 钡或硅酸钡，含镁物质为碳酸镁或硅酸镁，含钙物质为氧化钙。

4.如权利3所述工艺，其特征是：所述的表面层涂料包括1000份高 纯石英砂，1-3份柠檬酸锌，1-2份柠檬酸锗，0.2-1份柠檬酸锶，含钡 物质1-3份，含镁物质0.2-0.5份，氧化钙0.2-0.3份。

5.如权利3所述工艺，其特征是：所述的表面层涂料包括1000份高 纯石英砂，2份柠檬酸锌，1.5份柠檬酸锗，0.5份柠檬酸锶，碳酸钡1.5 份，硅酸镁0.3份。