[发明专利]旋转型切换阀

权利要求书

1.一种旋转型切换阀，具有：阀主体，形成有供主流体流动的腔室连通路和将该主流体排出的排放连通路；以及圆筒阀芯，可旋转地保持在该阀主体内，内部形成有供主流体流动的主流路，通过使该圆筒阀芯旋转，能够将该主流路在该腔室连通路和该排放连通路之间切换，所述旋转型切换阀的特征在于，

具有用于使清洗气体流至所述阀主体和所述圆筒阀芯之间的间隙部的清洗气体流路，

通过使清洗气体流至所述间隙部，防止所述主流体从所述主流路泄漏。

2.如权利要求1所述的旋转型切换阀，其特征在于，

在所述阀主体和所述圆筒阀芯之间具有所述间隙部，因此所述阀主体和所述圆筒阀芯不接触。

3.如权利要求1所述的旋转型切换阀，其特征在于，

在所述圆筒阀芯中设置的所述主流路的形状为扇形。

4.如权利要求1或3所述的旋转型切换阀，其特征在于，

在所述圆筒阀芯中设置的所述主流路在切换中间位置处与所述腔室连通路和所述排放连通路这两条通路连通。

5.如权利要求1所述的旋转型切换阀，其特征在于，

所述清洗气体连通路与在所述阀主体和所述圆筒阀芯之间形成的清洗气体环状流路连通，

所述腔室连通路和所述排放连通路形成于所述清洗气体环状流路之间。

6.如权利要求1所述的旋转型切换阀，其特征在于，

与将所述清洗气体的流量控制为使所述清洗气体向所述主流体混入的混入比例为1000PPM以下的流量的系统连接。

7.如权利要求6所述的旋转型切换阀，其特征在于，

所述系统是如下系统：进行第一实验，制成使所述清洗气体量变化时的所述主流体的泄漏量曲线图，进行第二实验，制成使所述清洗气体量变化时的混入到所述主流体中的所述清洗气体量的混入气体曲线图，基于由所述第一实验求得的所述泄漏量曲线图和由所述第二实验求得的所述混入气体曲线图来决定所述清洗气体量。

8.如权利要求7所述的旋转型切换阀，其特征在于，

所述第一实验为如下操作：向所述清洗气体流路供给A气体，并向所述主流路供给B气体，利用质量分析仪计测从所述排放连通路排出的所述B气体的浓度，

所述第二实验为如下操作：向所述清洗气体流路供给B气体，并向所述主流路供给A气体，利用质量分析仪计测从所述腔室连通路排出的所述B气体的浓度。