[发明专利]波长扫描装置

权利要求书

1.一种波长扫描装置，包括：光栅转动部分以及与之相对设置的光栅转动角度测量部分，其特征在于：

所述的光栅转动部分包括：步进电机、联轴器、转盘、多面反射镜、光栅座和光栅，其中：步进电机的转轴与联轴器固定连接，联轴器依次与转盘和光栅座相连接，多面反射镜固定在转盘外侧面的圆周上，光栅固定设置于光栅座上，光栅的刻划面的中心位于转轴的轴线上；

所述的光栅转动角度测量部分包括：光源、会聚透镜、位置敏感探测器、处理电路以及分束镜组或整形镜，其中：光源、会聚透镜以及分束镜组或整形镜依次先后设置，并朝向多面反射镜，位置敏感探测器设置于光源经多面反射镜反射的反射光路上并与处理电路相连接以接收反射光斑。

2.根据权利要求1所述的波长扫描装置，其特征是，所述的光源为激光或发光二极管。

3.根据权利要求1所述的波长扫描装置，其特征是，所述的分束镜组包括：分束镜和平面反射镜，其中：分束镜设置于光源和光经透镜的光路上并正对多面反射镜，平面反射镜位于分束镜的分束光路上并将反射光指向多面反射镜。

4.根据权利要求1所述的波长扫描装置，其特征是，所述的整形镜为半柱面镜结构。

5.根据权利要求1所述的波长扫描装置，其特征是，所述的多面反射镜为双层结构，每一层包括若干块大小相同的的平面反射镜，平面反射镜依次相接设置于转盘外侧面的圆周或部分圆周上。

6.根据权利要求5所述的波长扫描装置，其特征是，所述的平面反射镜的镜面均平行于转轴且相邻平面反射镜的夹角相等。

7.根据权利要求5所述的波长扫描装置，其特征是，所述的双层结构是指：两层平面反射镜的镜面相互交错叠放。

8.根据权利要求5或6或7所述的波长扫描装置，其特征是，所述的多面反射镜由玻璃、有机玻璃、塑料、硅片或金属制成。