[发明专利]镜面反射表面的形状测量

权利要求书

1.一种用于测量材料板的镜面反射表面的形状的方法，所述方法包括：

从位于测量平面处的镜面反射表面中，产生位于目标平面处的目标的表 面上所显示的平面几何图案的反射；

在成像平面处记录所述反射的图像；

通过下列方法之一确定所述镜面反射表面上的多个点相对于所述成像 平面的位置：(1)将所述材料板的边缘定位在已知位置以使所述镜面表面沿 所述材料板所定位的边缘上的多个点相对于所述测量平面的位置是已知的， 或(2)通过位移传感器测量沿着所述镜面反射表面的边缘处或边缘附近的线 条上的多个点相对于所述测量平面的位置；

确定所述反射的经记录图像上的特征位置与所述图案上的特征位置之 间的第一关系；以及

通过将所述多个点的位置用作初始条件，从包括所述镜面反射表面的表 面分布的第二关系以及所述第一关系中确定所述镜面反射表面的形状。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述第二关系在一个维度中具有下列形式：

dzdx=ux-t(u)+z1+u2(t(u)-z)2+x2+x+u(t(u)-z);]]>

其中z是垂直于所述测量平面的方向上的表面分布，dz/dx是所述表面 分布的导数，x是平行于所述测量平面的方向，α=ArcTan(u)是反射光方向 上的矢量与所述测量平面之间的角度，t(u)是所述第一关系，以及

u=zp-zxp-x;]]>

其中(x_p,z_p)是所述反射投影到所述成像平面上的中心位置。