[发明专利]排液头及其制造方法

权利要求书

1.一种排液头的制造方法，所述排液头包括用于产生排出液体的 能量的多个能量产生元件、设有液体排出口的排出口构件、以及与所 述液体排出口连通的流路，所述制造方法包括：

准备基片，所述基片具有头区域和周缘区域，其中，在所述头区 域中，多个独立的单元相互邻接地配置，每个所述独立的单元由排列 成列并对应于一个排液头的多个能量产生元件构成，在一个芯片单元 内足以形成元件膜，所述周缘区域位于所述头区域的外侧，并且，在 该周缘区域中，不设置满足一个芯片单元的元件膜；

在所述基片的所述头区域和所述周缘区域设置有固体层；

由所述固体层，在所述头区域上形成多个对应于所述独立的单元 的所述流路的多个侧壁，并且在所述周缘区域形成围着所述多个侧壁 设置的外壁构件；

在将要成为所述流路的部分上设置树脂层，以便覆盖所述流路的 所述侧壁和所述外壁构件；

向着所述基片抛光所述树脂层，以便将所述侧壁和所述外壁构件 从所述树脂层的所述表面露出；

将所述排出口构件设置成覆盖所述树脂层和所述侧壁；

通过除去所述树脂层形成所述流路；以及，

从所述基片上除去所述周缘区域和形成在该周缘区域上的结构。

2.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述固体层是由 负型感光树脂构成的层。

3.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述侧壁和相互 对向的所述外壁构件大致相互平行。

4.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述树脂层是由 正型感光树脂构成的层。

5.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述头区域是矩 形区域。

6.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，通过利用划片切 割所述基片，将周缘区域从所述基片上除去。

7.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，通过分割所述基 片的所述头区域，获得单个的排液头。