[发明专利]基于石英音叉的纳米测头及试样表面微观形貌测量方法

权利要求书

1.基于石英音叉的纳米测头，其特征是：采用石英音叉(1)作为探测试样微观形貌的微力传感器，在所述石英音叉(1)的一个音叉臂上固定有压电驱动器(2)，在另一个音叉臂上固定有压电传感器(3)；设置所述石英音叉(1)的振动方向与试样表面垂直，在靠近试样(6)所在一侧的音叉臂上，固定设置垂直指向试样表面的钨探针(7)，以正弦交流信号(4)施加于所述压电驱动器(2)作为励振信号，通过压电传感器(3)检测音叉谐振信号(5)。

2.一种权利要求1所述基于石英音叉的纳米测头的试样表面微观形貌测量方法，其特征是呈水平放置试样(6)；以正弦交流信号(4)施加于压电驱动器(2)作为励振信号，通过压电传感器(3)检测音叉谐振信号(5)并输出；所述测头保持不动，以试样(6)在水平面内的平移完成钨探针(7)在试样(6)的表面的逐点扫描，保持钨探针(7)与试样(6)的轻触且振幅恒定，根据压电传感器(3)的反馈信息获得试样(6)表面微观形貌。